[发明专利]太阳电池的制造方法

权利要求书

1.一种太阳电池的制造方法，包括步骤：

清洗基板；

在清洗完基板后，对基板进行表面织构化；

完成基板表面的织构化后，对基板掺入杂质并使之扩散；

对基板掺入杂质并使之扩散后，在基板上涂敷抗反射膜；

在基板上涂敷完抗反射膜后，形成金属电极；及

在制作完金属电极后，使边缘电极短路，

其中，对基板进行表面织构化的步骤包括步骤：

用压印工艺在基板上压印预定形状的阴罩；

在基板上压印阴罩后，蚀刻基板；

蚀刻完基板后，去除阴罩。

2.根据权利要求1所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，用压印工艺在基板上压印阴罩的步骤是，用具有图案并粘有阴罩液的印模，对基板进行压印。

3.根据权利要求1所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，用压印工艺在基板上压印阴罩的步骤是，在基板一面上涂敷阴罩液后，使之与具有图案的印模接触而形成具有预定图案的阴罩。

4.根据权利要求1所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，压印出的阴罩为格子状。

5.根据权利要求1所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，压印出的阴罩由彼此间相隔预定距离的多个圆形结构组成。

6.根据权利要求4或5所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，所述阴罩的直径或线宽为0.05μm-2μm。

7.根据权利要求1所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，所述阴罩由光刻胶制成。

8.根据权利要求1所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，所述阴罩由电子束抗蚀剂制成。

9.根据权利要求2或3所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，所述印模为平板或辊轮。

10.根据权利要求1所述的太阳电池的制造方法，其特征在于，所述基板由结晶硅制成。