[发明专利]感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法

权利要求书

1.一种感射线性树脂组合物，其特征在于包括：

[A]含有(a1)由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出 的至少一种和(a2)由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环 丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混 合物的共聚物，其中所述共聚物的聚苯乙烯换算的重均分子量为2 ×10³～1×10⁵，

[B]1，2-醌二叠氮化合物，以及

[C]具有碳原子数为6～15的芳基的倍半硅氧烷，其中所述倍 半硅氧烷的聚苯乙烯换算的重均分子量为5×10²～5×10³。

2.权利要求1所述的感射线性树脂组合物，其中[C]倍半硅 氧烷为下述式(1)表示的硅烷化合物的水解缩合物，

Si(R¹)(OR²)(OR³)(OR⁴)    ......(1)

式中，R¹表示碳原子数为6～15的芳基，R²～R⁴相互独立地 表示氢原子、碳原子数为1～4的取代或未取代的烷基或酰基。

3.权利要求1所述的感射线性树脂组合物，其中[C]倍半硅 氧烷为50～95重量％的上述式(1)表示的硅烷化合物与5～50重 量％的下述式(2)表示的硅烷化合物的水解缩合物，

Si(R⁵)(OR⁶)(OR⁷)(OR⁸)    ......(2)

式中，R⁵为碳原子数为1～15的烷基，R⁶～R⁸相互独立地为 氢原子、碳原子数为1～4的取代或未取代的烷基或酰基。

4.权利要求1～3任一项所述的感射线性树脂组合物，其用 于形成层间绝缘膜。

5.一种层间绝缘膜的制造方法，其特征在于按照下述顺序包 括以下工序：

(1)在基板上形成权利要求4所述的感射线性树脂组合物涂膜 的工序，

(2)对该涂膜的至少一部分照射射线的工序，

(3)将照射后的涂膜进行显影的工序，和

(4)将显影后的涂膜进行加热的工序。

6.权利要求1～3任一项所述的感射线性树脂组合物，其用 于形成微透镜。

7.一种微透镜的制造方法，其特征在于按照下述顺序包括以 下工序：

(1)在基板上形成权利要求6所述的感射线性树脂组合物涂膜 的工序，

(2)对该涂膜的至少一部分照射射线的工序，

(3)将照射后的涂膜进行显影的工序，和

(4)将显影后的涂膜进行加热的工序。