[发明专利]电子部件及其制造方法

权利要求书

1.一种声表面波设备的制造方法，该制造方法包括下述步骤：

形成叉指换能器IDT、连接到叉指换能器IDT的多个第一端子电极、 以及供电线，所述多个第一端子电极沿其中要切割压电基板的第一期望 切割区域的两侧设置，并且提供在要成为声表面波设备的多个区域中， 所述供电线从所述第一端子电极之一开始，然后在独立线段上重复地横 穿所述第一期望切割区域或与所述第一期望切割区域交叉的第二期望切 割区域，到达在通过横穿而到达的区域中所提供的所述第一端子电极之 一，以从所述期望切割区域的一端到达另一端；

通过从所述供电线提供的电流，在所述第一端子电极的顶部通过电 镀来形成第二端子电极；以及

在所述期望切割区域中切割所述压电基板；

其中在形成所述供电线的步骤中，在所述期望切割区域的中央利用 金属层来形成切割线，并且在切割所述压电基板的步骤中，所述切割线 用作切割所述压电基板的标记；并且

沿多个区域没有中断地形成所述切割线，其中

连接到叉指换能器IDT的多个第一端子电极、供电线、以及切割线 与叉指换能器IDT同时形成在所述压电基板上。

2.根据权利要求1所述的声表面波设备的制造方法，其中所述供电 线包括第一部分和第二部分，所述第一部分连接直接相对地设置的一对 第一端子电极并且横穿所述第一期望切割区域，在所述一对第一端子电 极之间夹有所述第一期望切割区域，所述第二部分从所述第一部分分叉， 连接呈对角线地设置的一对第一端子电极，并且横穿所述第一期望切割 区域，在所述一对第一端子电极之间夹有所述第一期望切割区域。

3.根据权利要求2所述的声表面波设备的制造方法，其中所述第一 部分是直线。

4.根据权利要求2所述的声表面波设备的制造方法，其中所述第二 部分具有曲柄形状。

5.一种声表面波设备的制造方法，该制造方法包括下述步骤：

形成多个第一端子电极和供电线，所述多个第一端子电极沿其中要 切割压电基板的第一期望切割区域的两侧设置，并且提供在要成为声表 面波设备的多个区域中，所述供电线从所述第一端子电极之一开始，然 后在独立线段上重复地横穿所述第一期望切割区域或与所述第一期望切 割区域交叉的第二期望切割区域，到达在通过横穿而到达的区域中所提 供的所述第一端子电极之一，以从所述期望切割区域的一端到达另一端；

通过从所述供电线提供的电流，在所述第一端子电极的顶部通过电 镀来形成第二端子电极；以及

在所述期望切割区域中切割所述压电基板；

其中在形成所述供电线的步骤中，在所述期望切割区域的中央利用 金属层来形成切割线，并且在切割所述压电基板的步骤中，所述切割线 用作切割所述压电基板的标记，并且

沿所述切割线的侧面形成多个突起。

6.根据权利要求5所述的声表面波设备的制造方法，其中所述供电 线包括第一部分和第二部分，所述第一部分连接直接相对地设置的一对 第一端子电极并且横穿所述第一期望切割区域，在所述一对第一端子电 极之间夹有所述第一期望切割区域，所述第二部分从所述第一部分分叉， 连接呈对角线地设置的一对第一端子电极，并且横穿所述第一期望切割 区域，在所述一对第一端子电极之间夹有所述第一期望切割区域。

7.根据权利要求6所述的声表面波设备的制造方法，其中所述第一 部分是直线。

8.根据权利要求6所述的声表面波设备的制造方法，其中所述第二 部分具有曲柄形状。