[发明专利]一种导电玻璃的在线镀膜方法及在线镀膜装置

说明书

技术领域

本发明属于玻璃生产领域，尤其涉及一种导电玻璃(TCO玻璃，TransparentConductive Oxide，透明导电氧化物)的在线镀膜方法及在线镀膜装置。

背景技术

目前，在线生产镀膜玻璃通常是根据化学气相沉积原理进行的，然而，现有的玻璃在线镀膜方法功能比较单一，只能镀膜层较薄的阳光控制膜玻璃，不能实现对膜层厚度大范围的调节，不能适应大流量的反应气体镀膜的要求，因而产品的功能和质量受到限制。

随着太阳能电池日益广泛使用，市场对SnO₂膜导电玻璃的需求量越来越大，而目前国内尚未出现SnO₂膜导电玻璃在线镀膜的技术方案，因此，制造太阳能电池的SnO₂膜导电玻璃需要大量进口，成本较高。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种导电玻璃的在线镀膜方法及在线镀膜装置，其可以在线生产各种膜层厚度和各种导电率的导电玻璃。

本发明实施例是这样实现的，一种导电玻璃的在线镀膜方法，在玻璃生产线的退火窑内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板进入退火窑内并向前运动；当玻璃基板的温度下降至适合镀膜的温度时，使玻璃基板进入镀膜区内；从镀膜区下游以斜进气方式向镀膜区内同时输入反应气体，并且使反应气体前进方向与玻璃基板移动方向相反；使反应气体发生化学反应后在玻璃基板表面沉积膜层，同时，从镀膜区上游向外抽出废气。

本发明实施例还提供了一种导电玻璃的在线镀膜装置，在玻璃生产线的退火窑内设置有镀膜区，所述镀膜区与退火窑内的其他区域相互隔离，于镀膜区设置有反应气体进气通道及废气抽气通道，所述进气通道倾斜设置于镀膜区下游，并且反应气体前进方向与玻璃基板移动方向相反，所述抽气通道位于镀膜区上游。

上述导电玻璃的在线镀膜方法及装置利用玻璃成型后进入退火窑的余温进行在线镀膜，不仅缩短了镀膜玻璃的流程时间，并且还节省了非在线镀膜必需的加热所消耗的能源。同时，上述进气通道和抽气通道是独立单元，根据生产需要可以灵活方便地拆卸和组装，可适应各种气体流量的要求，因此，可获得各种膜层厚度和各种导电率的导电玻璃，特别适合有腐蚀性气体参与的镀膜过程。

附图说明

图1是本发明导电玻璃的在线镀膜装置一较佳实施例中退火窑的局部结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1所示，本发明实施例中的导电玻璃的在线镀膜方法包括以下步骤：在玻璃生产线的退火窑1内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板2进入退火窑1内并向前运动(图1中箭头A所示方向为玻璃基板2的移动方向)；当玻璃基板2的温度下降至适合镀膜的温度时，使玻璃基板2进入镀膜区内；从镀膜区下游以斜进气方式向镀膜区内同时输入反应气体，以避免退火窑1内的辊子3所形成的镀膜死角，保证最大镀膜面积，同时，使反应气体前进方向与玻璃基板2移动方向相反，以保证镀膜的层次性；使反应气体发生化学反应后在玻璃基板2表面沉积膜层，同时，从镀膜区上游向外抽出废气，从而使废气能够全部进入回收池，而不会泄露到空气中。玻璃基板2经过镀膜区后，进行逐步的降温、退火，再进行切割、下片、包装等工序，即可制成最终的导电玻璃产品。

该镀膜区与退火窑1内的其他区域相互隔离，于镀膜区内设置有反应气体进气通道4及废气抽气通道5，进气通道4倾斜设置于镀膜区下游，并且气体前进方向与玻璃基板2移动方向相反，抽气通道5倾斜设置于镀膜区上游，通过抽气通道5，可对镀膜区1进行强力抽气。

为防止抽废气时导致玻璃基板2温度下降过快，在镀膜区内沉积膜层的同时，还向镀膜区内输入进行温度补偿的热气体，所述热气体的压力高于外部环境压力以及镀膜区的压力，其包含但不限于空气、氮气、稀有气体中的至少一种，热气体的温度为300-700℃。如图1所示，镀膜区的上、下游分别设有热气体补偿通道6，由热气体补偿通道6输入镀膜区的热气体同时还使镀膜区与退火窑1内的其他区域之间相互隔离，从而保护镀膜区。

上述成型后的玻璃基板2可以是浮法玻璃、格法玻璃或压延玻璃，其分别从锡槽、成型池及压延机中成型出来后随着辊台的辊子3进入退火窑1的温度尚有700℃左右，当玻璃基板2在退火窑1内温度降至400-650℃时，达到参与反应的温度，就进入了镀膜区。