[发明专利]一种导电玻璃的在线镀膜方法及在线镀膜装置

权利要求书

1.一种导电玻璃的在线镀膜方法，在玻璃生产线的退火窑内设置镀膜区；使成型后的玻璃基板进入退火窑内并向前运动；当玻璃基板的温度下降至适合镀膜的温度时，使玻璃基板进入镀膜区内；从镀膜区下游以斜进气方式向镀膜区内同时输入反应气体，并且使反应气体前进方向与玻璃基板移动方向相反；使反应气体发生化学反应后在玻璃基板表面沉积膜层，同时，从镀膜区上游向外抽出废气。

2.如权利要求1所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，在所述镀膜区内沉积膜层的同时，还向镀膜区内输入进行温度补偿的热气体，所述热气体的温度为300-700℃。

3.如权利要求1所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述玻璃基板进入镀膜区内的温度是400-650℃。

4.如权利要求1所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述反应气体是SnCl₄及H₂O，二者发生化学反应后产生SnO₂及HCl，所述SnO₂沉积在玻璃基板表面形成导电膜层，所述废气包括HCl及未参与反应的SnCl₄。

5.如权利要求4所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述H₂O与SnCl₄的体积比大于等于2，并且二者体积占镀膜区体积的20-95％。

6.如权利要求1所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述镀膜区与退火窑内的其他区域之间通过输入热气体进行隔离和保护，所述热气体的温度为300-700℃。

7.如权利要求2所述的导电玻璃的在线镀膜方法，其特征在于，所述方法还包括通过激光测量仪测量膜层厚度，对膜层厚度进行反馈，通过电阻测量仪测量电阻，对电阻率进行反馈，同时通过热电偶检测玻璃基板附近的温度变化，对温度进行反馈，以便随时调整抽气量、或者调整热气体补偿量。

8.一种导电玻璃的在线镀膜装置，其特征在于，在玻璃生产线的退火窑内设置有镀膜区，所述镀膜区与退火窑内的其他区域相互隔离，于镀膜区设置有反应气体进气通道及废气抽气通道，所述进气通道倾斜设置于镀膜区下游，并且反应气体前进方向与玻璃基板移动方向相反，所述抽气通道位于镀膜区上游。

9.如权利要求8述的导电玻璃的在线镀膜装置，其特征在于，所述镀膜区的上、下游还分别设有热气体补偿通道。

10.如权利要求8所述的导电玻璃的在线镀膜装置，其特征在于，所述进气通道内设有气流阻尼器，所述抽气通道内设有缓冲器及负压调节装置。