[发明专利]一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法及装置在审
申请号: | 200910091520.7 | 申请日: | 2009-08-26 |
公开(公告)号: | CN101635322A | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
发明(设计)人: | 孙良欣;刘烨 | 申请(专利权)人: | 北京中联科伟达技术股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;C23F1/14;C23F1/08 |
代理公司: | 北京市商泰律师事务所 | 代理人: | 毛燕生 |
地址: | 100012北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 太阳能电池 链式 方法 装置 | ||
技术领域
本发明涉及提高化学药液浓度、温度均匀性的一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法及装置,为多晶太阳能电池片的链式制绒工艺,属于太阳能电池片的加工制造领域。
背景技术
现有的多晶太阳能电池片的制造工艺中,制绒工艺是关键的一步,制绒的好坏直接关系到电池片的性能,其中对药液的浓度、温度均匀性的要求最为关键;传统多晶链式制绒工艺采用药液在槽体两侧溢流、药液浸没多晶硅片方式(如图1、2所示),在制绒槽内,中部的药液置换与其它部位的药液不能同步进行,造成药液浓度、温度的不均匀,无法控制Wafer的反应速度,进而影响制绒的效果。
发明内容
为了克服现有技术结构的不足,本发明提供一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法及装置,很好的解决了这一问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法,含有以下步骤:
步骤1;采用槽体四面溢流方式,使得反应后液体快速溢出;
步骤2;采用上喷淋方式;在药液槽的上部,增加了一定数量的喷淋管,药液由上部直接补充到硅片的周围;这样使药液和硅片接触更加充分,同时也使药液温度更有利于控制,保持均匀一致,改善制绒效果;
步骤3;采用槽体内槽底部进液,进液口向下,并对进液管路进行处理,使药液进入内槽后均匀的流向槽体的各部位,保证槽体内部各部位温度、浓度的均一性,
步骤4;控制调节流量,根据流量计的读数,通过控制阀调整管路中液体的流量达到要求。
一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置,含有槽体,喷淋装置,
槽体分为内、外槽,进液管路由槽体外部穿过内槽槽体侧板进入内槽槽体内部空间,在进液管路上钻两列小孔,两列小孔在管路的圆周上成60°角分布,两列小孔之间夹角朝向槽体底部。
内槽的上部开有堰口,由进液管进入的液体,向上溢出堰口流到外槽内,外槽底部开有回液口,回液口通过管路与药液循环供给槽相连,靠重力使药液流回药液循环供给槽。
喷淋装置包括喷淋管和流量调节机构两部分;喷淋管由塑料管制成,在上面开有一定直径和距离的孔;
流量调节机构由流量计和控制阀组成:流量计与控制阀通过管路相连,根据流量计的读数,通过控制阀调整管路中液体的流量达到要求。
本发明的有益效果:
1、温度控制更容易,温控精度达到±1℃以内;
2、有效改善制绒效果,提高产品品质,降低反射率,制绒后反射率达到20%以下。
本发明的槽体四面溢流,使得反应后液体快速溢出;加了上喷淋方式,这样使药液和Wafer接触更加充分,同时也使药液温度更有利于控制,保持均匀一致,改善制绒效果。
在原有的槽体两面溢流的基础上,为了加快药液的流动,并保证各流动部分相对而言更加均匀流动,在槽体的侧面开出通道,这样在槽体的中部药液就不必流向两端的堰口回到药液供给箱,减少了中部反应后的药液流向槽体的两端时对其它硅片的影响,尽量保证每一片硅片周围的药液是新的药液,而不是刚反应后的药液,降低了反应带来的温度升高,补充了反应后药液的损耗,更利于药液的温度、浓度的控制,保证药液在硅片周围的均一性,进而保证制绒的均一性。
其次,为了进一步保证硅片周围药液(特别是槽体中部的药液)的温度、浓度的均一性,在药液槽的上部,增加了一定数量的喷淋管,药液由上部直接补充到硅片的周围。一个是新药夜的补充降低了硅片反应后大量放热而造成的温度增加,有利于温度的恒定;另外,由于有新药夜补充了反应时药液成分的消耗,有利于硅片周围药液浓度的恒定。
总之,采取上述方法后,进一步加强了对药液温度、浓度均一性的控制,保证药液温度、浓度在要求的范围内变化,保证了制绒的效果达到生产要求,并有所提高。
附图说明
图1为现有技术示意图;
图2为现有技术示意图;
图3为本发明结构示意图;
图4为本发明结构示意图。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
具体实施方式
实施例1:如图3所示,采用四面溢流的形式,加速药液的流动和更新,带走硅片反应所放的热量,保证硅片反应温度和浓度的均一性,从而保证制绒的效果更佳。
一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法,含有以下步骤:
步骤1;采用槽体四面溢流方式,使得反应后液体快速溢出;
步骤2;采用上喷淋方式;在药液槽的上部,增加了一定数量的喷淋管2,药液由上部直接补充到硅片3的周围;这样使药液和Wafer接触更加充分,同时也使药液温度更有利于控制,保持均匀一致,改善制绒效果;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的