[发明专利]一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法及装置在审
申请号: | 200910091520.7 | 申请日: | 2009-08-26 |
公开(公告)号: | CN101635322A | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
发明(设计)人: | 孙良欣;刘烨 | 申请(专利权)人: | 北京中联科伟达技术股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;C23F1/14;C23F1/08 |
代理公司: | 北京市商泰律师事务所 | 代理人: | 毛燕生 |
地址: | 100012北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 太阳能电池 链式 方法 装置 | ||
1.一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法,其特征是含有以下步骤:
步骤1:采用槽体四面溢流方式,使得反应后液体快速溢出;
步骤2:采用上喷淋方式;在药液槽的上部,设置喷淋管,药液由上部直接补充到硅片的周围;这样使药液和硅片接触更加充分,同时也使药液温度更有利于控制,保持均匀一致,改善制绒效果;
步骤3:采用槽体内槽底部进液,进液口向下,并对进液管路进行处理,使药液进入内槽后均匀的流向槽体的各部位,保证槽体内部各部位温度、浓度的均一性,
步骤4:控制调节流量,根据流量计的读数,通过控制阀调整管路中液体的流量达到要求;
进液管路由槽体外部穿过内槽槽体侧板进入内槽槽体内部空间,在进液管路上钻两列小孔,两列小孔在管路的圆周上成60°角分布,两列小孔之间夹角朝向内槽的槽体底部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的