[发明专利]一种氧化镍薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200910087898.X | 申请日： | 2009-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101607744A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 张雄健;董昭;张酣 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C01G53/04 | 分类号： | C01G53/04;C23C8/10 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 关 畅 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种制备氧化镍薄膜的方法，其特征在于：采用直接氧化法制备氧化镍薄膜，包括以下步骤：在包括a)气体和b)气体的混合气氛中，将镍或镍钨合金置于反应器中进行热处理，得到所述氧化镍薄膜；
所述a)气体为氩气、氮气或腐蚀性气体；所述腐蚀性气体由SO2、CO2和N2组成，所述腐蚀性气体中SO2、CO2和N2的体积比为0.13-0.16∶18-21∶78.87-81.84；
所述b)气体为氧气；所述a)气体与所述b)气体的体积比为99.3-99.7∶0.3-0.7；
所述热处理的过程如下：以4～6℃/min的速率，将反应器的温度从室温升至300℃，接着以2～3℃/min的速率，将反应器的温度升至480～550℃，保持12～18小时。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述a)气体与所述b)气体的体积比为99.5∶0.5。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述腐蚀性气体中SO2、CO2和N2的体积比为0.146∶19.4∶80.454。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述镍钨合金中钨的质量百分含量为3％～8％。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：形成所述混合气氛的气体的流量为35～60毫升/分钟。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述a)气体为腐蚀性气体，所述混合气氛中还包括水蒸气。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述镍或镍钨合金在使用前进行下述处理：将镍或镍钨合金用砂纸抛光表面，并置于乙醇中进行超声清洗。
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