[发明专利]三片式微型散热器无效
申请号: | 200910083492.4 | 申请日: | 2009-05-06 |
公开(公告)号: | CN101883483A | 公开(公告)日: | 2010-11-10 |
发明(设计)人: | 李伟;刘媛媛;方高瞻;马骁宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H05K7/20 | 分类号: | H05K7/20;H01L23/473;H01S5/024 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 式微 散热器 | ||
1.一种三片式微型散热器,包括:
一上盖,为矩形,该上盖上横向上下开有两个上出水孔和上入水孔,在上盖纵向下面的一侧固定有一层直立排列的散热层;
一通水层,为矩形,与上盖对应,该通水层上横向上下开有中出水孔和中入水孔,在通水层的纵向上面的一侧开有一矩形凹槽,该矩形凹槽可以容纳上盖下面的散热层,在该矩形凹槽和中出水孔的一侧端之间有一条形凹槽,在该矩形凹槽的底面靠近通水层顶端处开有一狭缝,该狭缝上下贯通;
在该通水层的背面,与矩形凹槽同侧开有一背凹槽,该背凹槽与狭缝连通,在背凹槽和中进水孔背面的一侧端之间有一条形凹沟;
一密封层,该密封层与上盖相对应,横向上下开有下出水孔和下入水孔;
该上盖扣合在通水层上,上盖下面的散热层位于通水层的矩形凹槽内,该密封层盖合在通水层的下面。
2.根据权利要求1所述的三片式微型散热器,其中上盖、通水层和密封层均为具有高导热率的金属材料,为紫铜或无氧铜。
3.根据权利要求1所述的三片式微型散热器,其中上盖、通水层和密封层的预定位置分别纵向开有两个定位孔,所述各定位孔同心。
4.根据权利要求1所述的三片式微型散热器,其中通水层上面的矩形凹槽、条形凹槽,背面的背凹槽和条形凹沟采用数控机床机械加工制成,槽的深度小于通水层厚度的1/2。
5.根据权利要求1所述的三片式微型散热器,其中上盖、通水层和密封层为焊接,焊接是采用银铜扩散焊接法。
6.根据权利要求1所述的三片式微型散热器,其中散热层由若干菱形柱状散热柱组成,采用线切割技术加工而成。
7.根据权利要求1或6所述的三片式微型散热器,其中散热层的面积为9.5mm×3mm。
8.根据权利要求1所述的三片式微型散热器,其中水流方向与列阵器件出光方向相反,可以更好地对器件工作过程中最热的部位-出光腔面进行良好的散热。
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