[发明专利]一种自支撑TiO2纳米管阵列薄膜及其制备方法无效
申请号: | 200910080353.6 | 申请日: | 2009-03-19 |
公开(公告)号: | CN101857966A | 公开(公告)日: | 2010-10-13 |
发明(设计)人: | 陈清伟;徐东升 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | C25D11/26 | 分类号: | C25D11/26;H01G9/20;H01G9/042;H01L51/42;H01L51/44;H01L51/46 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王朋飞 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 支撑 tio sub 纳米 阵列 薄膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种自支撑TiO2纳米管阵列薄膜,其特征在于,它由下述方法制得:
a)对钛箔进行初次阳极氧化,在钛箔上形成TiO2纳米管阵列薄膜;
b)然后将步骤a)处理得到的钛箔进行退火晶化处理;
c)再将经过上述处理的钛箔进行二次阳极氧化,在钛箔和TiO2纳米管阵列薄膜之间形成无定形TiO2氧化层;
d)最后从无定形TiO2氧化层上剥离TiO2纳米管阵列薄膜。
2.如权利要求1所述的自支撑TiO2纳米管阵列薄膜,其特征在于,步所述骤a)的钛箔的厚度在10μm以上。
3.如权利要求1所述的自支撑TiO2纳米管阵列薄膜,其特征在于,所述步骤a)得到的TiO2纳米管阵列薄膜层的厚度为2μm以上。
4.如权利要求1所述的自支撑TiO2纳米管阵列薄膜,其特征在于,所述步骤b)中退火在氧气气氛下进行,退火温度为300-550℃。
5.如权利要求1所述的自支撑TiO2纳米管阵列薄膜,其特征在于,所述步骤c)中二次阳极氧化的电压为10-30V。
6.如权利要求1所述的自支撑TiO2纳米管阵列薄膜,其特征在于,所述步骤c)中二次阳极氧化所形成的无定形TiO2氧化层厚度为50nm-3μm。
7.如权利要求1所述的自支撑TiO2纳米管阵列薄膜,其特征在于,在步骤d)之前,先将经二次阳极氧化的钛箔置于去离子水或水溶液中。
8.如权利要求1所述的自支撑TiO2纳米管阵列薄膜,其特征在于,在步骤d)之前,先将经二次阳极氧化的钛箔置于H2O2或强酸溶液中。
9.一种制备如权利要求1-8任一项所述自支撑TiO2纳米管阵列薄膜的方法,其特征在于,包括下述步骤:
a)对钛箔进行初次阳极氧化,在钛箔上形成TiO2纳米管阵列薄膜;
b)然后将步骤a)处理得到的钛箔进行退火晶化处理;
c)再将经过上述处理的钛箔进行二次阳极氧化,在钛箔和TiO2纳米管阵列薄膜之间形成无定形TiO2氧化层;
d)最后从无定形TiO2氧化层上剥离TiO2纳米管阵列薄膜。
10.一种由权利要求1-8任一项所述自支撑TiO2纳米管阵列薄膜制备的染料敏化太阳能电池。
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