[发明专利]TFT-LCD阵列基板及其制造方法和液晶显示器有效
申请号: | 200910078106.2 | 申请日: | 2009-02-16 |
公开(公告)号: | CN101807587A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 赵凯;黄东升 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/52;H01L21/84;H01L21/76;G02F1/1362 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 曲鹏 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | tft lcd 阵列 及其 制造 方法 液晶显示器 | ||
技术领域
本发明涉及一种液晶显示器结构及其制造方法,尤其是一种TFT-LCD阵 列基板及其制造方法和液晶显示器。
背景技术
在平板显示技术中,薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,简称TFT-LCD)具有体积小、功耗低、无辐射和 制造成本相对较低等特点,因此在平板显示器市场占据了主导地位。
TFT-LCD的主体结构是由阵列基板和彩膜基板对盒并在其中注入液晶而 形成的。阵列基板上形成有栅线、数据线、公共电极线以及以矩阵方式排列 的薄膜晶体管和像素电极,栅线和数据线定义了像素区域,薄膜晶体管和像 素电极形成在每个像素区域内。彩膜基板(也称彩色滤光片,Color Filter) 上形成有黑矩阵、彩色树脂和公共电极,彩色树脂包括红色、蓝色和绿色三 色树脂,彩膜基板上设置黑矩阵的主要目的是隔离彩色树脂,同时遮挡漏光 区域的光线。此外,在间隔一个或数个彩色树脂的距离上,均匀设置有柱状 隔垫物,柱状隔垫物用于保持对盒后阵列基板和彩膜基板之间的距离。
目前,现有技术的TFT-LCD通常将柱状隔垫物设置在彩膜基板上,且其 位置与薄膜晶体管位置相对应,对盒后,柱状隔垫物的端部与阵列基板的薄 膜晶体管接触。由于该接触位置属于阵列基板的最高位置,当阵列基板或彩 膜基板受到挤压或冲击时,柱状隔垫物会自动向较低位置移动,并且很难回 复到原有位置,因此现有技术这种结构很容易导致阵列基板与彩膜基板错位, 进而引发漏光、接触水印(Touch Mura)等显示缺陷。此外,现有技术形成 柱状隔垫物的工艺是先形成彩膜结构图形或阵列结构图形,然后再通过构图 工艺形成柱状隔垫物,存在制备工艺步骤多、效率较低等缺陷。
发明内容
本发明的目的是提供一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法和液晶显示 器,有效解决现有技术因柱状隔垫物位置移动引发漏光等技术缺陷。
为了实现上述目的,本发明提供了一种TFT-LCD阵列基板,包括形成在 基板上的栅线和数据线,所述栅线和数据线限定的像素区域内形成像素电极 和薄膜晶体管,所述栅线和数据线的交叠处形成有柱状隔垫物。
所述柱状隔垫物的端部顶设在彩膜基板上形成的凹部区域内。
所述柱状隔垫物与像素电极在同一次构图工艺中形成,所述柱状隔垫物 由位于下层的透明导电薄膜和位于上层的光刻胶组成。
为了实现上述目的,本发明提供了一种液晶显示器,包括对盒的阵列基 板和彩膜基板,所述阵列基板包括栅线和数据线,所述彩膜基板包括黑矩阵, 并在黑矩阵的所在位置形成凹部区域,所述栅线和数据线的交叠处形成有柱 状隔垫物,所述柱状隔垫物的端部顶设在所述凹部区域内。
所述柱状隔垫物与像素电极在同一次构图工艺中形成,所述柱状隔垫物 由位于下层的透明导电薄膜和位于上层的光刻胶组成。
为了实现上述目的,本发明还提供了一种TFT-LCD阵列基板制造方法, 包括:
步骤10、在基板上形成栅线、栅电极、数据线、漏电极、源电极、TFT 沟道和钝化层过孔的图形,所述钝化层过孔位于漏电极的上方;
步骤20、在完成步骤10的基板上沉积透明导电薄膜,通过构图工艺形 成包括像素电极和柱状隔垫物的图形,所述像素电极通过钝化层过孔与漏电 极连接,所述柱状隔垫物位于栅线和数据线的交叠处。
所述步骤10可以包括:
步骤11、在基板上沉积栅金属薄膜,通过构图工艺形成包括栅线和栅电 极的图形;
步骤12、在完成步骤11的基板上沉积栅绝缘层、半导体薄膜、掺杂半 导体薄膜和源漏金属薄膜,通过构图工艺形成包括数据线、漏电极、源电极 和TFT沟道的图形;
步骤13、在完成步骤12的基板上沉积钝化层,通过构图工艺形成包括 钝化层过孔的图形,所述钝化层过孔位于漏电极的上方。
所述步骤10也可以包括:
步骤21、在基板上沉积栅金属薄膜,通过构图工艺形成包括栅线和栅电 极的图形;
步骤22、在完成步骤21的基板上沉积栅绝缘层、半导体薄膜和掺杂半 导体薄膜,通过构图工艺形成包括有源层的图形;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京东方光电科技有限公司,未经北京京东方光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910078106.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:倾斜旋转重力混合生物反应装置
- 下一篇:基于通用总线并行的汽车诊断系统及方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的