[发明专利]提高精密加工设备运动平台绝对位置定位精度的装置和方法

权利要求书

1.一种运动平台绝对位置定位方法，包括：利用零位传感器测量运动平台的绝对位置，其特征在于：利用第一零位传感器的输出最大值确定零点范围，利用第一零位传感器和第二零位传感器的输出值确定零点的精确位置；

其中，所述确定零点范围包括：获得第一零位传感器的输出最大值V_{out1_max}后，使运动平台分别沿x轴负方向与x轴正方向运动，并获得第一零位传感器的输出电压V_{out1_G1}与V_{out1_G2}；所述输出电压V_{out1_G1}满足公式： V_{out1_max}-V_c-δ₁≤V_{out1_G1}(i)≤V_{out1_max}-V_c+δ₁，其中：n为采样点数，V_c为一个固定的电压常数，δ₁为此处允许的误差；V_{out1_G2}满足公式： V_{out1_G1}-δ₂≤V_{out1_G2}(i)≤V_{out1_G1}+δ₂，其中：n为采样点数，δ₂为此处允许的误差；

其中，所述第一零位传感器的输出电压V_{out1_G1}与V_{out1_G2}时，对应的所述第二零位传感器的输出值为V_{out2_P1}与V_{out2_P2;}所述V_{out2_P1}满足公式： V_{out2_P2}满足公式： 其中：n为采样点数；

其中，使运动平台沿x轴负方向运动，根据所述Vout2_P1与Vout2_P2的范围获得第二零位传感器的输出电压Vout2_P0，且所述输出电压Vout2_P0对应的运动平台的所在位置即为零点的精确位置；V_{out2_P0}满足公式： 其中：n为采样点数，δ₃为此处允许的误差。

2.根据如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述V_c的取值范围满足0＜V_c＜(V_{out1_max}-V_{out1_min}-δ₁)，其中V_{out1_max}为第一零位传感器输出的最大值，V_{out1_min}为第一零位传感器输出的最小值，δ₁为此处允许的误差。