[发明专利]干涉仪主镜调整机构及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及干涉仪，特别是一种干涉仪主镜调整机构及其制备方法。

背景技术

传统的干涉仪主镜调整机构通常是在主镜装配过程中，依靠机械修配方法或其他稳定性较差的调整方法来实现主镜镜片垂直于光轴的两维角度微量调整，这些方法的局限性在于：

1、修配难度非常高，往往需要业内经验丰富的技师才可以完成。

2、修配时可修正的范围非常小，不容易满足干涉仪光学系统设计要求。

3、机构稳定性不够好，影响干涉仪测量精度。

由以上几点不足导致传统干涉仪中主镜调整机构在使用上有很大的缺陷。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于克服上述传统技术的不足，提供一种干涉仪主镜调整机构及其制备方法，以达到不需要对主镜进行修配，即可实现主镜垂直于光轴Z方向两维微量角度调整，从而实现主镜球心像光轴与棱镜组光轴在同一理想光轴上拟合。该主镜调整机构结构简单、安装调整方便、制造成本低、结构稳定性高、而且外形美观，适用于各类干涉仪主镜的安装调整，也可适用于其他装置中透镜的调整与安装。

本发明的技术解决方案如下：

一种干涉仪主镜调整机构，其特点是：该机构由螺纹套筒、调节凸台、N个调节螺栓、N个球面垫圈、N个弹簧垫圈、N个螺钉、主镜和主镜镜框构成，其中N为2以上的正整数：

所述的螺纹套筒是一段一定壁厚的圆筒，该圆筒的内壁具有内螺纹，外圆面沿圆周方向均匀地分布N个完全相同的长腰槽形通孔；

所述的调节凸台由N块圆弧形的调节块构成，每一调节块的外圆面具有与所述的螺纹套筒的内螺纹相匹配的外螺纹，在该外螺纹圆面上离右端一定距离有一个垂直于轴线的螺纹通孔，在该调节块右端面有一个沿轴向的螺纹沉孔；

所述的主镜镜框是具有主镜安装结构和主镜通光孔的框座，在所述的主镜镜框边框上的一个以该主镜镜框的主镜通光孔的对称轴为圆心的圆周上并沿该圆周均匀地分布着N个短腰槽形通孔；

所述的主镜安装并固定在所述的主镜镜框中，N个固定螺钉分别通过所述的主镜镜框的N个短腰槽形通孔拧入所述的调节凸台的N块圆弧形的调节块端面的螺纹沉孔，所述的调节凸台的外螺纹与所述的螺纹套筒的内螺纹相互嵌套，N个调节螺栓依次套入弹簧垫圈和球面垫圈后，通过所述的长腰槽形通孔并拧入所述的螺纹通孔中。

所述的N＝3。

所述的长腰槽形通孔的宽度大于所述的调节螺栓的直径，长度等于向心角为20°所对应该长腰槽形通孔所在圆周的圆弧长度。

上述的干涉仪主镜调整机构的制备方法，该方法包括下列步骤：

①主镜镜框的制备；根据所需调整的干涉仪主镜的通光口径D7，制备具有主镜安装结构和主镜通光孔的主镜镜框，在所述的主镜镜框边框上的一个以该主镜镜框主镜通光孔的对称轴为圆心的圆周上并沿该圆周均匀地加工N个短腰槽形通孔，所述的圆周的直径为D8；

②将所述的主镜安装在所述的主镜镜框中，使所述的主镜的球心像光轴基本上通过所述的主镜镜框的对称中心，然后固定之；

③螺纹套筒制备：根据所需调整的干涉仪主镜的直径，加工具有适当内径的和一定壁厚的圆筒，该螺纹套筒的内径为D2，外径为D1，其内壁加工内螺纹，外圆面离右端一定长度沿同一圆周均匀地垂直于该圆筒的轴线加工N个完全相同的长腰槽形通孔；

④所述的调节凸台的制备：取一段具有一定壁厚的圆筒，该圆筒的内径为D3，外径为D4，该内径D3应不小于所述的干涉仪主镜的通光口径D7，该外径D4与所述的螺纹套筒的内径D2相匹配，该圆筒的外圆面加工出外螺纹与所述的螺纹套筒的内螺纹相匹配，将该圆筒的外螺纹拧入所述的螺纹套筒的内螺纹中，使之相互嵌套自由旋转，定位后，通过所述的螺纹套筒上的N个长腰槽形通孔的中心位置，在所述的调节圆筒的外螺纹圆面各加工一个螺纹通孔，而且在该圆筒的右端的端面的直径为D8的同一圆周上垂直于该端面并对应所述的N个螺纹通孔的位置加工N个螺纹沉孔，然后分别以所述的螺纹沉孔为中心的一定圆弧宽度沿该圆筒的轴线依序号切割出N块调节块，所述的一定圆弧宽度应＜360°/N；

⑤利用固定螺钉穿过所述的主镜镜框的短腰槽形通孔按所述的调节块的序号依次拧入所述的调节块的螺纹沉孔，将所述的N块调节块依次与所述的主镜镜框相垂直地连接在一起，使所述的N块调节块的外螺纹处在同一螺纹升角圆周外圆面上；