[发明专利]干涉仪主镜调整机构及其制备方法无效
| 申请号: | 200910045460.5 | 申请日: | 2009-01-16 |
| 公开(公告)号: | CN101477236A | 公开(公告)日: | 2009-07-08 |
| 发明(设计)人: | 朱健强;汤更秀;王聪瑜;蔡志坚;王国兴 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G01B9/02 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
| 地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 干涉仪 调整 机构 及其 制备 方法 | ||
1.一种干涉仪主镜调整机构,其特征在于:该机构由螺纹套筒(101)、调节凸台(102)、N个调节螺栓(103)、N个球面垫圈(104)、N个弹簧垫圈(105)、N个螺钉(106)、主镜(107)和主镜镜框(108)构成,其中N为2以上的正整数:
所述的螺纹套筒(101)是一段一定壁厚的圆筒,该圆筒的内壁具有内螺纹,外圆面沿圆周方向均匀地分布N个完全相同的长腰槽形通孔(101-1);
所述的调节凸台(102)由N块圆弧形的调节块构成,每一调节块的外圆面具有与所述的螺纹套筒(101)的内螺纹相匹配的外螺纹,在该外螺纹圆面上离右端一定距离有一个垂直于轴线的螺纹通孔(102-1),在该调节块右端面有一个沿轴向的螺纹沉孔(102-2);
所述的主镜镜框(108)是具有主镜(107)安装结构和主镜通光孔的框座,在所述的主镜镜框(108)边框上的一个以该主镜镜框主镜通光孔的对称轴为圆心的圆周上并沿该圆周均匀地分布着N个短腰槽形通孔(108-1);
所述的主镜(107)安装并固定在所述的主镜镜框(108)中,N个固定螺钉(106)分别通过所述的主镜镜框(108)的N个短腰槽形通孔(108-1)拧入所述的调节凸台(102)的N块圆弧形的调节块端面的螺纹沉孔(102-2)将所述的N块圆弧形的调节块与所述的调节凸台(102)形成一体,所述的调节凸台(102)的外螺纹与所述的螺纹套筒(101)的内螺纹相互嵌套,N个调节螺栓(103)依次套入弹簧垫圈(105)和球面垫圈(104)后,通过所述的长腰槽形通孔(101-1)并拧入所述的螺纹通孔(102-1)中。
2.根据权利要求1所述的干涉仪主镜调整机构,其特征在于所述的N=3。
3.根据权利要求1所述的干涉仪主镜调整机构,其特征在于所述的长腰槽形通孔(101-1)的宽度大于所述的调节螺栓(103)的直径,长度等于向心角为20°所对应该长腰槽形通孔所在圆周的圆弧长度。
4.权利要求1所述的干涉仪主镜调整机构的制备方法,其特征在于该方法包括下列步骤:
①主镜镜框(108)的制备;根据所需调整的干涉仪主镜(107)的通光口径D7,制备具有主镜(107)安装结构和主镜通光孔的主镜镜框(108),在所述的主镜镜框(108)边框上的一个以该主镜镜框主镜通光孔的对称轴为圆心的圆周上并沿该圆周均匀地加工N个短腰槽形通孔(108-1),所述的圆周的直径为D8;
②将所述的主镜(107)安装在所述的主镜镜框(108)中,使所述的主镜(107)的球心像光轴基本上通过所述的主镜镜框(108)的对称中心,然后固定之;
③螺纹套筒(101)制备:根据所需调整的干涉仪主镜(107)的直径,加工具有适当内径的和一定壁厚的圆筒,该螺纹套筒(101)的内径为D2,外径为D1,其内壁加工内螺纹MD×1,外圆面离右端一定长度沿同一圆周均匀地垂直于该圆筒的轴线加工N个完全相同的长腰槽形通孔(101-1);
④所述的调节凸台(102)的制备:取一段具有一定壁厚的圆筒,该圆筒的内径为D3,外径为D4,该内径D3应不小于所述的干涉仪主镜(107)的通光口径D7,该外径D4与所述的螺纹套筒(101)的内径D2相匹配,所述的圆筒的外圆面加工出外螺纹与所述的螺纹套筒(101)的内螺纹相匹配,将该圆筒的外螺纹拧入所述的螺纹套筒(101)的内螺纹中,使之相互嵌套自由旋转,定位后,通过所述的螺纹套筒(101)上的N个长腰槽形通孔(101-1)的中心位置,在所述的调节圆筒的外螺纹圆面各加工一个螺纹通孔(102-1),而且在该圆筒的右端的端面的直径为D8的同一圆周上垂直于该端面并对应所述的N个螺纹通孔(102-1)的位置加工N个螺纹沉孔(102-2),然后分别以所述的螺纹沉孔(102-2)为中心的一定圆弧宽度沿该圆筒的轴线依序号(1、2、3、…、N)切割出N块调节块,所述的一定圆弧宽度应<360°/N;
⑤利用固定螺钉(106)穿过所述的主镜镜框(108)的短腰槽形通孔(108-1)按调节块的序号依次拧入所述的调节块的螺纹沉孔(102-2),将所述的N块调节块依次与所述的主镜镜框(108)相垂直地连接在一起,使所述的N块调节块的外螺纹处在同一螺纹升角圆周外圆面上;
⑥将所述的调节凸台(102)的外螺纹旋入所述的螺纹套筒(101)的内螺纹中,使所述的调节凸台(102)的N块调节块的螺纹通孔(102-1)与所述的螺纹套筒(101)的长腰槽形通孔(101-1)相对应,将N个调节螺栓(103)依次穿入弹簧垫圈(105)和球面垫圈(104)后,通过所述的长腰槽形通孔(101-1)并拧入所述的螺纹通孔(102-1)中。
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