[发明专利]半导体器件有效

专利信息
申请号: 200910006671.8 申请日: 2001-04-04
公开(公告)号: CN101488500A 公开(公告)日: 2009-07-22
发明(设计)人: 幡手一成;久本好明 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L27/04 分类号: H01L27/04;H01L29/41;H01L29/78;H01L23/52
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 张雪梅;王小衡
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体器件
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,具备:具有上主面及下主面的半导体衬底, 其特征在于,

上述半导体衬底具备:

第1导电型的漏层,形成在上述上主面;

第2导电型的主基区,以比上述漏层浅的方式在上述漏层中有选 择地形成,并露出于上述上主面;

第2导电型的周边基区,以比上述漏层浅的方式在上述漏层中有 选择地形成,在内部不设第1导电型的半导体区域并露出于上述上主 面;以及

第1导电型的源区,以比上述主基区浅的方式在上述主基区中有 选择地形成,并露出于上述上主面,

上述半导体器件还具备:

第1主电极,连接于上述主基区、上述源区和上述周边基区;

栅电极,在上述主基区上方,隔着栅绝缘膜与夹在上述漏层与上 述源区之间的区域即沟道区相对置;

导电性的栅极焊区,在上述上主面上方,隔着与上述栅绝缘膜不 同的绝缘层,与焊区下漏区相对置,并连接于上述栅电极,其中,上 述焊区下漏区既是上述漏层露出的区域,也是与上述主基区共同夹着 上述周边基区的区域;

第2主电极,连接于上述下主面;以及

导电层,该导电层在比上述栅极焊区更接近上述上主面的位置, 以与上述焊区下漏区相对置的方式埋设在上述绝缘层中,

上述导电层仅与上述栅极焊区电连接,

上述导电层延伸到上述周边基区的上方。

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,

上述主基区被分割为多个区域,

上述源区与上述主基区的上述多个区域对应地被分割配置,

上述周边基区具有:

位于上述主基区与上述焊区下漏区之间的部分;和

连接到上述主基区的上述多个区域的每一区域的一端的部分。

3.根据权利要求1或2所述的半导体器件,其特征在于,

上述周边基区包括:

环状部分,该环状部分沿着位于上述上主面上方的上述栅极焊区 的正下方的区域的外周连续形成。

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