[发明专利]涂胶装置、其使用方法及其制品无效
| 申请号: | 200910004583.4 | 申请日: | 2009-03-06 |
| 公开(公告)号: | CN101823039A | 公开(公告)日: | 2010-09-08 |
| 发明(设计)人: | 费耀祺 | 申请(专利权)人: | 鸿骐新技股份有限公司 |
| 主分类号: | B05C9/02 | 分类号: | B05C9/02;B05C11/04;B05C13/02;H01L21/56;H01L21/58 |
| 代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 王玉双;黄艳 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 涂胶 装置 使用方法 及其 制品 | ||
技术领域
本发明涉及一种涂胶装置、其使用方法及其制品,特别涉及一种具有刮刀结构的涂胶装置、其使用方法及其制品。
背景技术
一般晶片(wafer)在制作成集成电路芯片(integrated circuit chip,IC chip)后,会进一步地使用一涂胶机(printing machine)在晶片的上表面或下表面上涂布上一层胶体(paste or glue)。然后待该胶体些微干燥后,再将晶片切割成多个电路芯片。所述芯片再分别与一基板或另一芯片相互接合,等到该胶体完全干燥固化后,该芯片与基板或是另一芯片即可固定地结合在一起。中国台湾专利证书号M3262839所提出的“一种用于芯片封装之晶圆涂胶构造(一)”既揭露此了种技术。芯片与基板(芯片与芯片)结合后,还会继续进行一些打线(wiring)等芯片封装(package)作业。
一般而言,涂布在晶片上的胶体的厚度应越均匀越好,如此芯片在与其它对象接合(基板、另一晶片)时,芯片仍能维持水平而不倾斜,或是接合面之间不会有间隙,进而使得后续的封装作业能顺利进行。
而胶体的厚度是否均匀取决于许多因素,其中涂胶机的刮刀(squeegee)的形状为主要因素之一。一般现有的刮刀的形状都为矩形,例如美国专利号4665822“squeegee for screen process printers for printing of dielectric and metallic pastes for single and multilayer hybrid circuits”所揭露的刮刀的外型即为矩形状。此种形状的刮刀在涂布胶体时,胶体流过刮刀的阻力较大,因此时而造成该胶体厚度不均,或是造成该胶体含有空气等不良情形。
因此,为了改善上述缺陷,本发明提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的涂胶装置、其使用方法及其制品。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种涂胶装置、其使用方法与其制品,该涂胶装置的刮刀结构具有一圆弧面,故该涂胶装置能较平顺地涂布胶体,使得制品的胶体的厚度能较均匀。
为了实现上述目的,本发明提供一种涂胶装置,包括:一真空吸盘;一置放平台,其设置于该真空吸盘的上方;一刮刀移动模块,其可移动地设置于该置放平台上方;以及一刮刀结构,其设置于该刮刀移动模块的一端,该刮刀结构的末端为一圆弧面。
本发明另提出一种如上所述的涂胶装置的使用方法,其包括步骤如下:放置一待涂胶物于该真空吸盘上;放置一钢板于该置放平台上;设置一预定容量的胶体于该钢板的一侧;以及移动该刮刀结构而将该胶体从该钢板的一侧推动至另一侧,使得该胶体涂布于该待涂胶物上。
本发明又提出一种如上所述的涂胶装置的使用方法,其包括步骤如下:放置一待涂胶物于该真空吸盘上;放置一网板于该置放平台上;设置一预定容量的胶体于该网板的一侧;以及移动该刮刀结构而将该胶体从该网板的一侧推动至另一侧,使得该胶体涂布于该待涂胶物上。
本发明再提出一种上述涂胶装置的制品,其包括:一晶片;以及一胶体,其设置于该晶片的至少一面上。
本发明再提出另一种上述涂胶装置的制品,其包括:一晶片;一保护胶膜,其设置于该晶片的至少一面;以及一胶体,其设置于该保护胶膜上。
本发明再提出又一种上述涂胶装置的制品,其包括:一晶片;一贴片环,其环设于该晶片的外围;以及一胶体,其设置于该晶片及该贴片环的至少一面。
本发明具有以下有益效果:
1.本发明的涂胶装置的刮刀结构由于具有一圆弧面,故涂胶装置在涂胶时,能够让胶体较平顺地涂布于待涂胶物上。
2.本发明的涂胶装置可通过钢板或网板来涂布胶体。
3.本发明的涂胶装置可产生多种类的制品。
为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容,请参阅以下有关本发明的详细说明及附图,然而附图仅供参考与说明用,并非用来对本发明加以限制。
附图说明
图1为本发明的涂胶装置的立体分解图。
图2为本发明的涂胶装置的立体图。
图3为本发明的涂胶装置的胶体涂布的示意图。
图4为本发明的涂胶装置的第二实施例的立体分解图。
图5为本发明的涂胶装置的第二实施例的立体图。
图6为本发明的涂胶装置的第二实施例的胶体涂布的示意图。
图7为本发明的涂胶装置的使用方法的步骤流程图。
图8为本发明的涂胶装置的制品的示意图。
图9为本发明的涂胶装置的另一制品的示意图。
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