[发明专利]具冷却效果的转轴装置

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种转轴装置，特别是涉及一种安装于真空腔体的转轴装 置。

【背景技术】

如图1所示，为一种安装在半导体制程所使用的真空腔体900上的转 轴装置1，该转轴装置1是穿设固定于真空腔体900的腔壁901上，并可透 过绕自体轴心转动的轴杆11来驱动一个安装在真空腔体900内的阀门902。 这种转轴装置1使用时，虽然已可借由其结构设计而达到完全气密的效果， 但是因真空腔体900内部进行半导体制程作业时，真空腔体900内部通常 会处于高温状态，此高温状态会导致转轴装置1温度升高，由于转轴装置1 的组成构件的材质并非完全相同，也就是组成构件的热膨胀系数不尽相同， 所以当转轴装置1温度过高时，容易导致其内部构件因热膨胀变形，而影 响其整体气密效果，引发外界空气经由组成构件间的缝隙窜入真空腔体900 内的现象，其中，又因轴杆11是可转动地直接穿设于腔壁901上，所以当 轴杆11与腔壁901间的热膨胀幅度差异较大时，较容易因为轴杆11的转 动，而造成外界空气经由轴杆11与腔壁901间的缝隙进入真空腔体900中， 致使真空腔体900无法确保维持在真空状态下，而导致制程失误，因而有 待改进。

【发明内容】

本发明的目的是在于提供一种具冷却效果的转轴装置。

本发明具冷却效果的转轴装置，适用于安装在一个真空腔体上，该真 空腔体具有一个界定出一个真空容室的腔壁，该腔壁穿设有一个连通真空 容室的插孔。该转轴装置是穿设固定于该插孔中，并包含一个轴座单元， 及一支安装于轴座单元的轴杆，该轴座单元包括一个安装于腔壁外壁面并 贯穿插孔地延伸入真空容室内的中空的基座、一个安装于基座内的中空的 气密衬套、至少一个安装于基座内的轴承，及一个套置于基座外且与基座 外周面相配合界定出一个环绕基座的中空冷却空间的冷却套管，且该基座 位于真空腔体外的部位穿设有一个用以将冷却液注入冷却空间的注水孔， 及一个用以供冷却空间中的冷却液排出的排水孔。该轴杆是安装于该轴承 中，且气密贯穿该气密衬套地延伸入真空容室内，并可被驱动而绕自体轴 心枢转。

本发明的有益效果在于：透过该转轴装置具有可供注入与排出低温冷 却液的冷却空间的结构设计，可使转轴装置在真空腔体作业期间，能够冷 却降温而保持在一预定温度范围，可大幅降低其热膨胀变形量，而维持其 气密效果。

【附图说明】

图1是一般安装于真空腔体的转轴装置侧视剖面图；

图2是本发明具冷却效果的转轴装置的第一个实施例的立体图；

图3是该第一个实施例安装于一个真空腔体的侧视剖面图；

图4是本发明具冷却效果的转轴装置的第二个实施例安装于一个真空 腔体的侧视剖面图。

【具体实施方式】

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明：

在本发明被详细描述的前，要注意的是，在以下的说明内容中，类似 的元件是以相同的编号来表示。

如图2、3所示，本发明具冷却效果的转轴装置的第一个实施例，适用 于安装在一个真空腔体2上，该真空腔体2具有一个界定出一个真空容室 20的腔壁21，且该腔壁21穿设有一个连通真空容室20的插孔210。

该转轴装置包含一个穿设于插孔210中而安装固定于该腔壁21上的轴 座单元3，及一支可绕自体轴心枢转地穿设于该轴座单元3中的轴杆4。

该轴座单元3包括一个限位靠抵于腔壁21外壁面并贯穿该插孔210 地延伸入真空容室20内的中空基座31、一个气密靠抵于基座31内周面且 气密套抵于该轴杆4外周面的气密衬套32、二个沿基座31长度方向间隔设 置于基座31两相反端部中并供轴杆4可转动地穿设定位的轴承33、一个径 向间隔地套接固定于基座31外并延伸入真空容室20中的冷却套管34、一 个气密塞装固定于基座31位于真空容室20内的端部中的内端盖35，及多 个间隔塞抵于内端盖35内周面与轴杆4外周面的油封36。