[发明专利]具冷却效果的转轴装置

权利要求书

1.一种具冷却效果的转轴装置，适用于安装在一个真空腔体上，该 真空腔体具有一个界定出一个真空容室的腔壁，该腔壁穿设有一 个连通真空容室的插孔，该转轴装置是穿设固定于该插孔中，其 特征在于：该转轴装置包含一个轴座单元及一支安装于轴座单元 的轴杆，该轴座单元包括一个安装于腔壁上并贯穿插孔地延伸入 真空容室内的中空的基座、一个安装于基座内的中空的气密衬套 、至少一个安装于基座内的轴承，及一个套置于基座外且与基座 外周面相配合界定出一个环绕基座的中空的冷却空间的冷却套管 ，且该基座位于真空腔体外的部位穿设有一个用以将冷却液注入 冷却空间的注水孔，及一个用以供冷却空间中的冷却液排出的排 水孔，该轴杆是安装于该轴承中且气密贯穿该气密衬套地延伸入 真空容室内，并能够被驱动而绕自体轴心枢转。

2.如权利要求1所述的具冷却效果的转轴装置，其特征在于：该基 座具有一个限位靠抵于腔壁外壁面且穿设有所述注水孔与排水 孔的环状外端部，及一个自该外端部一体延伸贯穿该插孔而延伸 入真空容室内的中空的安装管部，该气密衬套是安装于该安装管 部中。

3.如权利要求2所述的具冷却效果的转轴装置，其特征在于：该冷 却套管是沿该安装管部长度方向延伸，而该冷却空间是沿该安装 管部长度方向延伸地环绕于该安装管部外。

4.如权利要求2或3所述的具冷却效果的转轴装置，其特征在于：该 气密衬套具有一个安装固定于基座中且套置于轴杆外的中空的 管体、多个间隔嵌置于管体内周面且分别气密套抵于轴杆外周面 的内气密垫圈，及多个间隔嵌置于管体外周面且分别气密塞抵于 基座内周面的外气密垫圈。

5.如权利要求4所述的具冷却效果的转轴装置，其特征在于：该轴 座单元还包括一个气密安装固定于该基座位在真空容室内的端 部中并套置于轴杆外的内端盖，及至少一个安装于内端盖中且气 密套抵于轴杆外周面的油封。

6.如权利要求4所述的具冷却效果的转轴装置，其特征在于：该轴 座单元还包括至少一个嵌装于气密衬套的管体中且气密套抵于 轴杆外周面的油封。

7.如权利要求4所述的具冷却效果的转轴装置，其特征在于：该轴 座单元包括二个轴承，且所述轴承是分别位于气密衬套两相反端 侧，而分别套抵于轴杆外周面。