[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟以及压电振动器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及在接合的两个基板之间所形成的空腔内收容了压电振动片的表面安装型(SMD)的压电振动器、具有该压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟、以及制造该压电振动器的压电振动器的制造方法。

背景技术

近年来，在便携电话或便携信息终端设备上，采用利用了水晶等作为时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等的压电振动器。提供有各式各样的这种压电振动器，但作为其中之一，众所周知表面安装型的压电振动器。作为这种压电振动器，已知一般以由基底基板和盖基板上下夹持形成有压电振动片的压电基板的方式进行接合的3层构造型。这时，压电振动片被收容于在基底基板和盖基板之间所形成的空腔(密闭室)内。

此外，在近年，不仅开发了上述的3层构造型，而且还开发了2层构造型。这种类型的压电振动器由于基底基板和盖基板直接接合而成为2层构造，在两基板之间形成的空腔内收容有压电振动片。该2层构造型的压电振动器与3层构造的压电振动器相比在可实现薄型化等的方面优越，因而适于使用。

可是，压电振动器一般要求抑制等效电阻值(有效电阻值，Re)为低值。等效电阻值低的压电振动器可以用低电力来使压电振动片振动，因此成为能量效率良好的压电振动器。

作为抑制等效电阻值的一般的方法之一，众所周知使空腔内接近真空的方法。而且，作为使空腔内接近真空的方法，已知在空腔C内收容金属膜的吸气材料，并从外部照射激光等而加热该吸气材料(吸气部件)并加以激活的方法(吸气法)(例如，参照专利文献1)。

依据该方法，利用成为激活状态的吸气材料，通过化学反应能够吸收主要由氧构成的空腔内的气体，因此能够使空腔内接近真空。此外，该吸气材料由铝、钛、锆或它们的合金构成，但在被加热时更加吸收空腔内的气体，并能有效地提高真空度，在这一点(吸气效果高这一点)上，特别适合使用铝。

专利文献1：日本特开2003-142976号公报

发明内容

但是，在使用铝作为吸气材料的情况下，有可能招致压电振动器的质量降低及特性变化。即，铝具有因水分等的介质而容易化学腐蚀的特性。因此，当压电振动器被置于高湿度的环境下，因湿气而吸气材料有可能会被腐蚀。若发生腐蚀，则吸气材料的表面会显著被蚀刻，或者在表面出现腐蚀生成物。因此，不仅招致质量降低，而且会影响压电振动片的振动动作，有可能招致特性变化。

本发明考虑这些状况构思而成，其目的在于提供一种压电振动器，依然能发挥较高的吸气效果，而且很难因湿度的影响而招致质量降低或特性变化。此外，提供制造该压电振动器的压电振动器的制造方法、具有该压电振动器的振荡器、电子设备及电波钟。

本发明为了解决上述课题并达成相关目的而提供以下方案。

(1)本发明的压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：互相接合并在其间形成有空腔的基底基板及盖基板；形成在所述基底基板的下表面的外部电极；以收容于所述空腔内的方式形成在所述基底基板的上表面的内部电极；以贯通所述基底基板的方式形成并电连接所述外部电极与所述内部电极的贯通电极；以与所述内部电极电连接的状态被收容于所述空腔内的压电振动片；以及形成在所述空腔内的吸气材料，其中，所述吸气材料由铬或以铬为主要成分的金属材料形成。

依据上述压电振动器的制造方法，由于吸气材料由铬或以铬为主要成分的金属材料形成，所以能发挥出较高的耐蚀性。即，铬比铝在耐蚀性方面更加优良，因此与用铝形成的以往情况相比，能够进一步提高吸气材料的耐蚀性。因此，即便在高湿度的环境下使用该压电振动器，吸气材料也难以腐蚀。因而，难以造成起因于腐蚀的质量降低或特性变化。

而且，铬不仅耐蚀性优良，而且容易与氧结合，因此在吸气之际，当吸气材料被加热而蒸发时容易吸收主要由氧构成的空腔内的气体，吸气效果较高。即，能够期待与用铝形成的现有的吸气材料同等或其以上的吸气效果。因此，依然能在短时间内提高空腔内的真空度，所以能够有效率地制造压电振动器。

(2)此外，也可以在所述基底基板的上表面形成所述吸气材料。

这时，吸气材料不在压电振动片形成，而在基底基板或盖基板的任何一个基板形成。因而，在吸气之际，即便用激光等来加热吸气材料，也不会对压电振动片产生任何加热的影响。因而，不会对压电振动片提供加热产生的负荷。因此，不会对压电振动器的质量或特性产生任何影响，所以能谋求压电振动器的高质量化。

(3)此外，也可以用与所述吸气材料相同的材料，与所述吸气材料同时形成所述内部电极。

这时，由于与吸气材料同时形成内部电极，所以能更加有效率地制造压电振动器。