[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟以及压电振动器的制造方法

权利要求书

1.一种压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：互相接合并在其间形成有空腔的基底基板及盖基板；形成在所述基底基板的下表面的外部电极；以收容于所述空腔内的方式形成在所述基底基板的上表面的内部电极；以贯通所述基底基板的方式形成并电连接所述外部电极与所述内部电极的贯通电极；以与所述内部电极电连接的状态被收容于所述空腔内的压电振动片；以及形成在所述空腔内的吸气材料，所述制造方法的特征在于，

所述吸气材料由铬或以铬为主要成分的金属材料形成。

2.如权利要求1所述的压电振动器的制造方法，其中在所述基底基板的上表面形成所述吸气材料。

3.如权利要求2所述的压电振动器的制造方法，其中用与所述吸气材料相同的材料，与所述吸气材料同时形成所述内部电极。

4.一种压电振动器，其中包括：

互相接合并且在其间形成有空腔的基底基板及盖基板；

形成在所述基底基板的下表面的外部电极；

以收容于所述空腔内的方式形成在所述基底基板的上表面的内部电极；

以贯通所述基底基板的方式形成并且电连接所述外部电极和所述内部电极的贯通电极；

以与所述内部电极电连接的状态被收容于所述空腔内的压电振动片；以及

用铬或以铬为主要成分的金属材料形成在所述空腔内的吸气材料。

5.如权利要求4所述的压电振动器，其中所述吸气材料形成在所述基底基板的上表面。

6.如权利要求5所述的压电振动器，其中用与所述吸气材料相同的材料，与所述吸气材料同时形成所述内部电极。

7.一种振荡器，其特征在于：使权利要求4至6中任一项所述的压电振动器，作为振子与集成电路电连接。

8.一种电子设备，其特征在于：使权利要求4至6中任一项所述的压电振动器，与计时部电连接。

9.一种电波钟，其特征在于：使权利要求4至6中任一项所述的压电振动器，与滤波部电连接。