[发明专利]玻璃波纹检测装置以及其检测方法

说明书

技术领域

本发明是关于玻璃波纹检测技术，且更明确地说，是关于玻璃波纹检测装置以及其检测方法，其可增强检测的准确度同时防止归因于诸如信号、声噪声、缺陷光源、玻璃的振动等等的基于检测玻璃波纹时的外部因素的噪声的检测误差。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器包括形成有薄膜晶体管的下部基板、形成有彩色滤光片的上部基板，以及注入于下部基板与上部基板之间的液晶。

在基板即将形成有薄膜晶体管以及彩色滤光片的情况下，基板的表面上的膨胀、应变、刮痕、外来物质等等已引发缺陷的产品。

因此，通常在处理室中使用等离子体于基板上执行沉积、蚀刻、溅射或类似的工艺之前，基板必须经检测。

然而，在基板的表面的已知的检测的情况下，藉由相机捕获的关于基板的表面的图像信息由于归因于诸如电信号的噪声、缺陷光源、待检测的基板移动时产生的振动等等的外部因素的噪声而受到失真。因此，已知的检测可产生错误以致将缺陷基板确定为正常的以及将正常基板确定为有缺陷的等等。如以上所描述，已知的检测不准确。

发明内容

技术问题

设想本发明解决如以上所描述的问题，且本发明的目标为提供一种玻璃波纹检测装置以及其检测方法，其中在移除图像信息中所含噪声(例如，光的亮度变化、由于光或交流电源的不稳定性的功率噪声、玻璃移动时产生的振动、设备或环境的振动等等)的状态下检测玻璃波纹，且因此在无归因于噪声的检测误差的情况下增强了检测的准确度。

技术方案

设想本发明解决如以上所描述的问题，且本发明的一方面提供一种玻璃波纹检测装置，其包括用于检查待经由输送单元供应至处理设备的玻璃的表面上的波纹的检测单元，检测单元包括：照明器，其发射光；第二镜面，其反射由照明器发射的光；屏幕，在玻璃透射自第二镜面反射的光时所透射光在其上投影为阴影图像；图像处理器，其捕获对应于玻璃的表面且投影于屏幕上的阴影图像；以及波纹检测器，其自藉由图像处理器捕获的阴影图像移除归因于外部因素的噪声且基于关于噪声经移除的阴影图像的信息来检测玻璃的表面上的波纹。

检测单元可包括：照明器，其发射光；第一镜面，其透射自照明器发射的一些光且朝向特定方向反射一些光；第二镜面，其反射通过第一镜面的一些光使得经反射的光通过玻璃；第一光量检测器，其检测自第二镜面反射且通过玻璃的光的量；第二光量检测器，其检测自第一镜面朝向特定方向反射的光的量；以及波纹检测器，其比较由第一光量检测器以及第二光量检测器检测的光量，移除归因于外部因素的噪声，且检测噪声经移除的玻璃的表面上的波纹。

自照明器发射的光可包括氙气灯、红外线光源以及发光二极管中的一者。

第二镜面可以以10°至90°的角度安装以控制光的入射角。

玻璃波纹检测装置可更包括狭缝，狭缝提供于照明器的前端处且设定光的照射范围以检测玻璃的特定区域。

玻璃波纹检测装置可更包括滤光片构件，滤光片构件提供于狭缝的前端处且仅允许具有特定频带的波长的光通过滤光片构件。

图像处理器可包括线扫描电荷耦合装置(CCD)相机。

第一镜面可包括半镜面。

本发明的第三方面为提供一种检测玻璃波纹的方法，方法包括：自整体捕获的阴影图像选择对应于特定区域的待检测的图像的第一步骤；藉由列表显示关于特定区域的所选图像中水平/垂直线的行的像素值(亮度)以及藉由移动平均法以计算邻近像素值的平均值来主要地减少来自图像的噪声的第二步骤；输出藉由在第二步骤中主要地减少噪声的状态下合计或平均来自像素值的所计算平均值的水平线行A1、A2、A3、A4、A5…An而获得的图像信号的第三步骤；以及确定第三步骤中的图像信号输出是否超出预设的阈值以检测玻璃的表面上的波纹的第四步骤。

可藉由以下的等式来获得基于第三步骤的合计(或平均)结果的图像信号输出：