[发明专利]压力传感器和防止空气进入压力传感器的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种压力传感器，尤其涉及一种感应或测量空气压力的压力传感器以及用于防止空气进入压力传感器的装置，其中该装置能够防止空气、湿气和外界物质进入压力传感器。

背景技术

压力传感器是一种测量一个过程或系统中的压力的装置。压力传感器是最广泛使用的传感器中的一种，其用于各种各样的使用，例如工业仪器、自动控制、医疗服务、自动发动机控制、环境控制、以及电子设备。

压力传感器的测量原理使用位移、变形、磁至热热量传导率、振动等。目前，许多种类的压力传感器在使用中。

压力传感器的例子包括使用波登管(Bourdon tube)、膜片(diaphragm)或波纹管(bellow)的机械压力传感器，将机械位移转换成电子信号的电子压力传感器，或者半导体压力传感器。

图1-图3图解了用于测量空气压力的机械压力传感器的一个例子。

当已测量的压力达到特定压力时，图1-图3所示的压力传感器产生用于切断电流或应用电流的电子信号。

参见图1和图2，现有技术的压力传感器包括下部壳体10、上部壳体70、安装在下部壳体10和上部壳体70之间的内部空间内的密封部件60、以及具有传导性并附接在密封部件60底下的导体部件50。例如，可以通过将密封部件60的插入凸起61插入到位于导体部件50的中心的连接孔51内，而将导体部件50附接到密封部件60。

采用卷簧形式的弹性部件40放置在下部壳体10上，以向导体部件50和密封部件60提供弹力。

一对连接部件20被安装穿过下部壳体10。当导体部件50克服弹性部件40的弹力而下降时，连接部件20接触导体部件50，从而形成电连接。为了使连接部件20的高度一致，连接部件20通过突出于下部壳体10的上部部分的各自的凸起12而暴露在下部壳体10的上方。

密封部件60挡住了上侧和下侧之间的空气流。上部壳体70具有空气孔71，以允许外部空气流进密封部件60上面的空间。

该现有技术的压力传感器可以用于测量空气压力。现在，该现有技术的压力传感器的运行将在空气被吸入真空处理装置、真空室、使用真空泵的真空包装装置、或类似装置内的情形下进行描述。

参见图2，压力传感器包括空气入口管11，其连接到执行真空处理的真空管线。当使用真空泵(未示出)吸入空气时，位于密封部件60的底部和下部壳体10之间的空间内的空气通过空气入口管11排出，从而降低压力。

随着空气压力的减少，密封部件60下降，从而克服弹性部件40的弹力。当空间的压力达到设定压力时，附接到密封部件60底部的导体部件50接触连接部件20(见图3)。

这样，该对连接部件20电连接在一起并且因此向外部发送电信号。基于该电信号，真空泵(未示出)的运行可以被停止。

如上所述，该现有技术的压力传感器可以用于通过当真空管线的空气压力变成和预定压力一样低或更低时发送电信号而停止真空泵的运行。

当真空运行完成以后或真空运行不被执行以后，随着真空泵的运行被停止外部空气被引入进真空管线时，密封部件60再次上升来释放导体部件50和连接部件20之间的接触，

此时，真空管线处于与压力传感器相沟通的状态来允许空气流动，这可以使得湿气、外界物质等流入压力传感器。当压力传感器内的真空状态突然释放时，湿气等的流入可以更经常地发生，从而引起外部空气的快速流入。

湿气或外界物质流入压力传感器干扰密封部件60的下降或导致了连接部件20和导体部件50之间的不良接触。在这种情况下，压力传感器完全不能执行其功能。

对于测量预定范围内的压力的压力传感器以及如图1-图3所示的对特定压力作出响应的前述传感器来说，湿气或外界物质流入压力传感器的缺陷同样可以发生。

上述缺陷不仅对于机械压力传感器来说，而且对于电子压力传感器来说同样发生，如果这些压力传感器用于测量空气压力的话。

需要一种技术，其能够通过防止湿气或外界物质流入用于测量空气压力的压力传感器而确保该用于测量空气压力的压力传感器的稳定运行。

发明内容

本发明能够解决现有技术的前述问题，因此本发明的一个方面是提供一种压力传感器，其能够在测量空气压力时防止湿气或外界物质流入其中，以及提供一种装置，当被用在压力传感器内时能够防止空气流入。

技术方案