[发明专利]多室型热处理装置及温度控制方法

权利要求书

1.一种多室型热处理装置，具备：加热室，内置具有能够使载置有处理对象物的移送台水平地通过的第1开口、在内部将处理对象物加热处理的加热容器；绝热门，将上述第1开口可开闭地封闭；冷却室，相邻于上述加热室，具有载置有处理对象物的上述移送台能够从加热室水平地通过的第2开口，在内部将处理对象物冷却；真空屏蔽门，将上述第2开口可开闭地密闭；移送装置，在上述加热室与冷却室之间将载置有处理对象物的上述移送台水平地移送；

其特征在于，

具备安装在处理对象物上的温度传感器、和将该温度传感器的检测信号传送到上述加热室及冷却室的外部的信号传送装置。

2.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，具备配置在上述加热室及冷却室的外部、根据从信号传送装置传送的温度传感器的检测信号测量处理对象物的温度的温度测量装置。

3.如权利要求1或2所述的多室型热处理装置，其特征在于，

上述信号传送装置具有：

柔性的张紧部件，一端固定在上述移送台上，穿过上述第1开口及第2开口延伸，另一端在冷却室内被水平地卷绕；

信号线，在一端上具有与上述温度传感器的输出线连接的连接器，沿着上述张紧部件延伸到另一端；

卷轴装置，一边对上述张紧部件附加卷绕方向的张紧，一边将张紧部件与信号线一起卷绕；

外部输出线，经由上述卷轴装置与上述信号线的另一端连接，将上述检测信号传送到上述冷却室的外部。

4.如权利要求3所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述张紧部件具有当将上述第1开口用绝热门封闭时、被夹持在绝热门与加热容器之间而将该部分密封的第1夹持部。

5.如权利要求4所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述第1夹持部由将上述耐热绳部件与上述温度传感器的输出线扎束为对应于绝热门与加热室的间隙的薄板状的具有耐受加热室内的温度的耐热性的第1耐热密封材构成。

6.如权利要求3或4所述的多室型热处理装置，其特征在于，

上述张紧部件具有在将上述第2开口用真空屏蔽门封闭时、被夹持在真空屏蔽门与冷却室之间、将该部分密封的第2夹持部。

7.如权利要求4或6所述的多室型热处理装置，其特征在于，

上述张紧部件由以下部分构成：

耐热绳部件，一端固定在上述移送台上，当移送台位于加热室内时另一端延伸到冷却室内，具有耐受加热室内及冷却室内的温度的耐热性；

柔性软管，前端固定在该耐热绳部件的末端上，末端卷绕在上述卷轴装置上，具有至少耐受冷却室内的温度的耐热性。

8.如权利要求6所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述第2夹持部设在上述耐热绳的中间位置上，由将连结上述耐热绳部件的导引带板和上述信号线扎束而一体成形的具有耐受冷却室内的温度的耐热性的第2耐热密封材构成，并且具有真空屏蔽门的密封材能够追随的截面形状。

9.如权利要求4或6所述的多室型热处理装置，其特征在于，

上述张紧部件由以下部分构成：

耐热绳部件，一端固定在上述移送台上，当移送台位于加热室内时另一端延伸到第1开口与第2开口的中间位置，具有耐受加热室内的温度的耐热性；

导引带板，前端固定在该耐热绳部件的末端上，末端卷绕在上述卷轴装置上，具有至少耐受冷却室内的温度的耐热性。

10.如权利要求6所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述第2夹持部设在上述导引带板的中间位置上，由将上述导引带板和上述信号线扎束而一体成形的具有耐受冷却室内的温度的耐热性的第2耐热密封材构成，并且具有真空屏蔽门的密封材能够追随的截面形状。

11.一种多室型热处理装置的温度控制方法，该多室型热处理装置具备：加热室，内置具有能够使载置有处理对象物的移送台水平地通过的第1开口、在内部将处理对象物加热处理的加热容器；绝热门，将上述第1开口可开闭地封闭；冷却室，相邻于上述加热室，具有载置有处理对象物的上述移送台能够从加热室水平地通过的第2开口，在内部将处理对象物冷却；真空屏蔽门，将上述第2开口可开闭地密闭；移送装置，在上述加热室与冷却室之间将载置有处理对象物的上述移送台水平地移送；

该多室型热处理装置的温度控制方法的特征在于，

将安装在处理对象物上的温度传感器的检测信号传送到加热室及冷却室的外部；

在上述加热室及冷却室的外部，根据从信号传送装置传送的温度传感器的检测信号测量处理对象物的温度；

基于测量的处理对象物的温度控制多室型热处理装置。