[发明专利]真空闸阀及使用它的闸开闭方法有效
申请号: | 200880114511.9 | 申请日: | 2008-10-17 |
公开(公告)号: | CN101849130A | 公开(公告)日: | 2010-09-29 |
发明(设计)人: | 永井秀明;久江隆 | 申请(专利权)人: | 株式会社V泰克斯 |
主分类号: | F16K51/02 | 分类号: | F16K51/02;H01L21/677 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 张瑾 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 闸阀 使用 开闭 方法 | ||
技术领域
本发明涉及在真空处理装置间或者真空处理装置与真空排气泵间使用的真空闸阀以及使用了该真空闸阀的闸开闭方法。
背景技术
在设置与设于排气口的闸密封面密接、闭塞排气口的闸板的情况下,将闸板(阀体)从排气口退藏时,为了让闸板退藏室不侵入、附着异物而设有闸板退藏室遮蔽装置。
在专利公报特开平7-42872中记载有这样的闸板退藏室遮蔽装置,在形成排气口的排气通路内设置圆筒型遮板,使其在排气通路内移动,在闸板退藏时遮蔽闸板退藏室。
在专利公报特开平3-239884中记载了如下超高真空闸阀,其由具有阀箱、阀座、开口的阀板、与该阀板连接的阀柱、阀柱驱动机构、阀板压件以及穿插连接于上述阀箱和上述阀座以及阀板压件之间、伸缩自如的波纹管构成,在上述阀板的开、闭位置,上述阀板一直与上述阀座及上述阀板压件对接,上述阀柱驱动机构所占有的上述阀箱内的死空间被闭塞。
在专利公报特開平7-42872中记载的圆筒型遮板在排气通路内移动,另外,在专利公报特開平3-239884中记载的伸缩自如的波纹管设置于死空间内。按照这样的现有技术的结构,闸板退藏或者闭塞移动时,遮板或者波纹管将接触排气,有附着排气中的异物的危险。
发明内容
本发明就是鉴于上述问题点,其目的在于提供一种包含闸板退藏及闭塞移动时在内,在闸板从开放状态到闭塞状态及从闭塞状态到开放状态时,可以使向闸板退藏室的异物侵入、附着变少的真空闸阀以及使用了该真空闸阀的闸开闭方法。
本发明提供一种真空闸阀,具有:本体,具有在其端部形成排气口的排气体部;退藏部,具有闸板退藏室;闸板,从所述闸板退藏室向所述排气体部移动、闭塞上述排气口,并且收藏于上述闸板退藏室;闸板驱动部,使该闸板移动;遮板,沿该排气体部可以移动、设置于遮板移动室;遮板驱动部,使该遮板移动,其特征在于,
所述本体具有形成所述遮板移动室的遮板移动部,所述遮板移动室面向所述排气体部侧方形成入口,在所述闸板向所述入口闭塞移动时及所述闸板向所述闸板退藏室退藏移动时,将所述遮板从所述排气体部隔离,
所述闸板退藏部被设置成使所述闸板退藏室连通于所述遮板移动室,
在所述遮板移动部,与所述遮板移动室的所述入口对置、形成固定密封部,
所述遮板具有与所述固定密封部对置形成的遮板密封部,
所述闸板形成为,从所述闸板退藏室向所述遮板移动室、及从该遮板移动室向所述排气体部可以移动,并且,在所述闸板的一面侧与所述固定密封部对置形成第一闸板密封部,而在所述闸板的与所述第一闸板密封部的反面侧,与所述遮板密封部对置形成第二闸板密封部,
在所述闸板被收藏于所述闸板退藏室时,所述遮板在所述遮板移动室内移动,所述遮板密封部与所述固定密封部接触,据此,闭塞所述入口;并且,在所述闸板在所述遮板移动室内移动、所述第一闸板密封部与所述固定密封部接触,据此,闭塞所述排气口时,所述遮板在所述遮板移动室内移动,所述遮板密封部与所述第二闸板密封部接触,据此,闭塞所述入口。
另外,本发明真空闸阀,其特征在于,所述固定密封部、所述遮板密封部、所述第一闸板密封部以及所述第二闸板密封部在所述排气体部的长度方向,在所述遮板移动室内的同一面上配置。
另外,本发明的真空闸阀,其特征在于,所述遮板密封部由遮板环形成,该遮板环及所述遮板相互拆装自如,所述排气体部具有位于其内周面呈圆筒状的盖,以及遮板收纳室,该遮板收纳室在所述圆筒状的盖的外周侧成为所述遮板移动室的一部分,在该遮板收纳室的侧方沿该遮板收纳室设置所述遮板驱动部的遮板驱动活塞,该遮板驱动活塞与所述遮板环连接,所述遮板环通过沿所述排气体部动作的所述遮板驱动活塞沿所述排气体部移动。
另外,本发明的真空闸阀,其特征在于,具有控制装置,进行如下控制:所述闸板驱动部和所述遮板驱动部由一组驱动源和驱动力切换装置驱动,在所述闸板退藏到所述闸板退藏室时,控制所述遮板移动。
另外,本发明的真空闸阀,其特征在于,所述闸板退藏部形成为箱状,位于所述本体从本体侧方被一体化,并且可拆装自如,在所述闸板采用摆形闸板,该闸板在所述闸板退藏室和所述遮板移动室摇动。
本发明提供一种真空闸阀的闸开闭方法,所述真空闸阀具有:本体,具有在其端部形成排气口的排气体部;退藏部,具有闸板退藏室;闸板,从所述闸板退藏室向所述排气体部移动、闭塞上述排气口,并且被收藏于上述闸板退藏室;闸板驱动机构,使该闸板移动;遮板,沿该排气体部可以移动、设置于遮板移动室;遮板驱动部,使该遮板移动,
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