[发明专利]真空闸阀及使用它的闸开闭方法

权利要求书

1.一种真空闸阀，具有：本体，具有在其端部形成排气口的排气体部；退藏部，具有闸板退藏室；闸板，从所述闸板退藏室向所述排气体部移动、闭塞上述排气口，并且收藏于上述闸板退藏室；闸板驱动部，使该闸板移动；遮板，沿该排气体部可以移动、设置于遮板移动室；遮板驱动部，使该遮板移动，其特征在于，

所述本体具有形成所述遮板移动室的遮板移动部，所述遮板移动室面向所述排气体部侧方形成入口，在所述闸板向所述入口闭塞移动时及所述闸板向所述闸板退藏室退藏移动时，将所述遮板从所述排气体部隔离，

所述闸板退藏部被设置成使所述闸板退藏室连通于所述遮板移动室，

在所述遮板移动部，与所述遮板移动室的所述入口对置、形成固定密封部，

所述遮板具有与所述固定密封部对置形成的遮板密封部，

所述闸板形成为，从所述闸板退藏室向所述遮板移动室、及从该遮板移动室向所述排气体部可以移动，并且，在所述闸板的一面侧与所述固定密封部对置形成第一闸板密封部，而在所述闸板的与所述第一闸板密封部的反面侧，与所述遮板密封部对置形成第二闸板密封部，

在所述闸板被收藏于所述闸板退藏室时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述入口；并且，在所述闸板在所述遮板移动室内移动、所述第一闸板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述排气口时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述第二闸板密封部接触，据此，闭塞所述入口。

2.如权利要求1所述的真空闸阀，其特征在于，所述固定密封部、所述遮板密封部、所述第一闸板密封部以及所述第二闸板密封部在所述排气体部的长度方向，在所述遮板移动室内的同一面上配置。

3.如权利要求1所述的真空闸阀，其特征在于，所述遮板密封部由遮板环形成，该遮板环及所述遮板相互拆装自如，所述排气体部具有位于其内周面呈圆筒状的盖，以及遮板收纳室，该遮板收纳室在所述圆筒状的盖的外周侧成为所述遮板移动室的一部分，在该遮板收纳室的侧方沿该遮板收纳室设置所述遮板驱动部的遮板驱动活塞，该遮板驱动活塞与所述遮板环连接，所述遮板环通过沿所述排气体部动作的所述遮板驱动活塞沿所述排气体部移动。

4.如权利要求1所述的真空闸阀，其特征在于，具有控制装置，进行如下控制：所述闸板驱动部和所述遮板驱动部由一组驱动源和驱动力切换装置驱动，所述闸板退藏到所述闸板退藏室时，控制所述遮板移动。

5.如权利要求1所述的真空闸阀，其特征在于，所述闸板退藏部形成为箱状，在所述本体从本体侧方被一体化，并且可拆装自如，在所述闸板采用摆形闸板，该闸板在所述闸板退藏室和所述遮板移动室摇动。

6.一种真空闸阀的闸开闭方法，所述真空闸阀具有：本体，具有在其端部形成排气口的排气体部；退藏部，具有闸板退藏室；闸板，从所述闸板退藏室向所述排气体部移动、闭塞上述排气口，并且被收藏于上述闸板退藏室；闸板驱动部，使该闸板移动；遮板，沿该排气体部可以移动、设置于遮板移动室；遮板驱动部，使该遮板移动，

所述本体具有形成所述遮板移动室的遮板移动部，所述遮板移动室面向所述排气体部侧方形成入口，在所述闸板向所述入口闭塞移动时及所述闸板向所述闸板退藏室退藏移动时，将所述遮板从所述排气体部隔离，

所述闸板退藏部被设置成使所述闸板退藏室连通于所述遮板移动室，

在所述遮板移动部，与所述遮板移动室的所述入口对置、形成固定密封部，

所述遮板具有与所述固定密封部对置形成的遮板密封部，

在所述闸板的一面侧与所述固定密封部对置形成第一闸板密封部，而在所述闸板的与所述第一闸板密封部的反面侧，与所述遮板密封部对置形成第二闸板密封部，

对所述闸板进行如下开闭：

在所述闸板被收藏于所述闸板退藏室时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述固定密封部接触，据此，闭塞所述入口，并且，在所述闸板从所述闸板退藏室向所述遮板移动室移动，以及从所述遮板移动室向所述排气体部移动、所述第一闸板密封部与所述固定密封部接触，据此闭塞所述排气口时，所述遮板在所述遮板移动室内移动，所述遮板密封部与所述第二闸板密封部接触，据此，闭塞所述入口。

7.如权利要求6所述的真空闸阀的闸开闭方法，其特征在于，所述固定密封部、所述遮板密封部、所述第一闸板密封部以及所述第二闸板密封部在所述排气体部的长度方向，相对于所述固定密封部在同一面上、在所述遮板移动室移动。