[发明专利]成膜设备以及成膜方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对工件的表面进行成膜的成膜设备以及成膜方法。

背景技术

在例如手机的主体外壳、汽车的门把手等的工件的装饰涂装中，可以进行反射防止膜等的光学薄膜、绝缘膜、保护膜等的多种成膜，作为其成膜方法，公知有溅射法、离子镀膜、蒸镀法等多种方法。

例如在溅射法中，在真空槽内装满稀薄的溅射气体，在该真空槽内将靶材料作为一个电极而进行辉光放电。并且，使通过该辉光放电所产生的等离子的阳离子与靶材料碰撞，使从靶材料击出的原子(溅射粒子)堆积在工件表面从而形成薄膜。此外，还公知有除了溅射气体之外还向真空槽内导入氧气、氮气这样的反应气体，从而形成化合物薄膜的反应溅射法。在成膜对象的工件是金属制的情况下，有时在工件自身处于高温的状态下进行溅射成膜。

此外，在真空蒸镀法中，通过在真空槽内加热蒸镀材料，使该蒸镀材料蒸发或升华，并使飞溅出的蒸镀材料附着在配置于真空槽内的工件的表面，从而形成薄膜。在该真空蒸镀法中，作为蒸镀材料可以利用铝等的金属，还可以利用树脂等。

然而，在使用不同种类的成膜方法进行成膜的情况下，由于各种成膜方法在装置间进行工件的移动，因此存在该移动期间中工件的表面附着异物或者形成于表面的膜暴露在外气中被氧化而膜发生变质，进而不能够实现规定的功能的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够防止伴随着工件的移动而产生的异物的附着、膜的变质等的成膜设备以及成膜方法。

本发明为了达成上述目的，技术方案1所述的成膜设备，具备：真空槽，槽内形成为真空；保持装置，配置在该真空槽内，保持并旋转作为成膜的对象的工件；溅射装置，在真空槽内配置有靶材料，在导入了溅射气体的气体环境下进行放电，从而使溅射粒子从靶材料飞溅出来，并使该飞溅出的溅射粒子堆积在工件上来进行成膜；蒸镀装置，设置在真空槽内，具有将蒸镀材料加热至规定的加热温度的材料加热机构，通过加热使蒸镀材料蒸发或升华并附着在工件上来进行成膜；以及控制机构，使溅射装置和蒸镀装置以择一的方式工作。

在技术方案2所述的成膜设备中，还具备闸门板，至少在溅射装置工作时，该闸门板被配置在真空槽内的热源和蒸镀材料之间，从而阻止来自热源的热量对蒸镀材料进行加热。

在技术方案3所述的成膜设备中，将溅射装置工作时所产生的等离子作为热源，至少在溅射装置工作时，闸门板被配置在等离子和蒸镀材料之间。

在技术方案4所述的成膜设备中，还具备对工件进行加热的工件加热机构。

在技术方案5所述的成膜设备中，还具备闸门板，该闸门板用于隔断热量，并且在遮蔽位置和容许位置之间自由移动，在工件加热机构工作时位于遮蔽位置，在蒸镀装置工作时位于容许位置，所述遮蔽位置是该闸门板被配置在工件和蒸镀材料之间的位置，所述容许位置是该闸门板从工件和蒸镀材料之间退避开从而容许蒸镀装置对工件进行蒸镀的位置。

在技术方案6所述的成膜设备中，还具备对闸门板进行冷却的闸门冷却机构。

在技术方案7所述的成膜设备中，保持装置用于保持多个工件。

在技术方案8所述的成膜方法中，包括：收容工序，在真空槽内收容作为成膜对象的工件，并使真空槽内成为真空；溅射工序，在导入了溅射气体的气体环境下进行放电，从而使溅射粒子从靶材料飞溅出来，并使溅射粒子堆积在收容于真空槽内的工件上来进行成膜；蒸镀工序，在溅射工序之前或之后被执行，通过对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料蒸发或升华并附着在收容于真空槽内的工件上来进行成膜；以及取出工序，将通过溅射工序和蒸镀工序而实施了成膜的工件从真空槽取出。

在技术方案9所述的成膜方法中，溅射工序中，阻止来自真空槽内的热源的热量对蒸镀材料进行加热。

在技术方案10所述的成膜方法中，遮断真空槽内的热源向蒸镀材料传递热量。

在技术方案11所述的成膜方法中，通过配置在热源和蒸镀材料之间的闸门板来遮断热量。

在技术方案12所述的成膜方法中，对闸门板进行冷却。

在技术方案13所述的成膜方法中，对蒸镀材料的周围进行冷却。

在技术方案14所述的成膜方法中，在溅射工序中，还具有对收容于真空槽内的工件进行加热的加热工序。

在技术方案15所述的成膜方法中，在溅射工序中，使用于遮断热量的闸门板位于配置在工件和蒸镀材料之间的遮蔽位置，在蒸镀工序中，使闸门板位于从工件和蒸镀材料之间退避开的、容许蒸镀的容许位置。

在技术方案16所述的成膜方法中，在收容工序中，将多个工件收容在真空槽内。

发明效果