[发明专利]检查装置以及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，检测通过含有导电性粒子的粘合材料而被安装在 面板表面的元件的位置相对于规定的安装位置的偏离量，其特征在于，该 检查装置包括：

照明，被设置在面板的背面一侧，并使光照射到被形成在面板的面板 识别标记以及被形成在所述元件的元件识别标记，所述面板的背面一侧是 指与面板的安装元件一侧相反的一侧；

摄像机，相对于面板被设置在与所述照明相反的一侧，拍摄由所述光 照射的面板识别标记以及元件识别标记；以及

算出单元，根据作为所述摄像机的拍摄结果的图像，算出所述面板识 别标记与所述元件识别标记之间的位置关系相对于规定的位置关系的偏离 量；

所述照明所照射出来的光是能够透过面板以及元件且不能透过所述导 电性粒子或很难透过所述导电性粒子的波长的光，而且所述照明所照射出 来的光的光量能够在所述图像中产生晕光。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述照明所照射出来的光的光量能够使所述图像中的所述导电性粒子 的平均粒径成为实际平均粒径的80％以下。

3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述照明所照射出来的光的光量能够使所述图像中除去所述面板识别 标记以及元件识别标记的部分的最小亮度值比最大亮度值的15％还要 大。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述检查装置进一步包括焦点调节单元，该焦点调节单元在将所述摄 像机的焦点位置对准所述面板识别标记以及元件识别标记的任一方的标记 之后，使所述摄像机的焦点位置偏移规定的量。

5.如权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

所述检查装置进一步包括判断单元，该判断单元判断所述图像中的所 述面板识别标记以及元件识别标记的特征点是否能够被识别；

所述焦点调节单元在所述判断单元判断为所述特征点不能被识别的情 况下，使所述摄像机的焦点位置偏移。

6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

所述检查装置进一步包括获得单元，该获得单元获得所述图像中的所 述面板识别标记的特征点以及所述元件识别标记的特征点的位置；

所述算出单元算出偏离量，该偏离量是将所述图像中的所述面板识别 标记以及所述元件识别标记的某一方的标记的特征点的位置作为基准的规 定的位置相对于另一方的标记的特征点的位置的偏离量。

7.一种检查方法，检测通过含有导电性粒子的粘合材料而被安装在 面板表面的元件的位置相对于规定的安装位置的偏离量，其特征在于，所 述检查方法包括：

照明步骤，被设置在面板的背面一侧的照明使光照射到被形成在面板 的面板识别标记以及被形成在元件的元件识别标记，所述面板的背面一侧 是指与面板的安装元件一侧相反的一侧；

摄像步骤，相对于面板被设置在与所述照明相反的一侧的摄像机拍摄 所述光照射的面板识别标记以及元件识别标记；以及

算出步骤，根据作为所述摄像机的拍摄结果的图像，算出所述面板识 别标记与所述元件识别标记之间的位置关系相对于规定的位置关系的偏离 量；

在所述照明步骤所照射出来的光是能够透过面板以及元件且不能透过 所述导电性粒子的波长的光，而且所述照明所照射出来的光的光量能够在 所述图像中产生晕光。

8.如权利要求7所述的检查方法，其特征在于，

在所述照明步骤所照射出来的光的光量能够使所述图像中的所述导电 性粒子的平均粒径成为实际平均粒径的80％以下。

9.如权利要求7所述的检查方法，其特征在于，

在所述照明步骤所照射出来的光的光量能够使所述图像中除去所述面 板识别标记以及元件识别标记的部分的最小亮度值比最大亮度值的15％ 还要大。

10.如权利要求7至9的任一项所述的检查方法，其特征在于，

所述检查方法进一步包括：

第一焦点调节步骤，使所述摄像机的焦点位置与所述面板识别标记以 及元件识别标记的任一方对准；以及

第二焦点调节步骤，使对准于所述一方的标记的焦点位置偏移规定的 量；

所述摄像步骤包括第一摄像子步骤和第二摄像子步骤，在所述第一摄 像子步骤拍摄在所述第一焦点调节步骤被对准焦点位置的一方的标记，在 所述第二摄像子步骤以在所述第二焦点调节步骤焦点位置被偏移后的状态 来拍摄另一方的标记。