[发明专利]被处理体处理系统及其控制方法

权利要求书

1.一种处理系统，该处理系统是对被处理体进行规定处理 的处理系统，其特征在于，

具备：

对被处理体进行处理的一个或多个处理装置；以及

对上述处理装置进行控制的控制器，

上述控制器构成为：在该控制器的电源被切断时，能够将 构成上述处理装置的多个终端装置选择性地控制成全部停止的 停止状态以及一部分或全部处于准备对被处理体进行处理的待 机状态中的任一种状态；

上述控制器具有I/O信息存储部，该I/O信息存储部事先保 存有与处于上述待机状态的上述终端装置有关的I/O信息，上述 终端装置被选择性地控制成上述待机状态而上述控制器的电源 被切断之后，该控制器在下次被启动时，参照上述I/O信息存储 部中所保存的上述I/O信息，将与所参照的上述I/O信息相同的 I/O信息分别输出到多个上述终端装置。

2.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，

上述I/O信息被分配有固有的管理编号。

3.一种处理系统，该处理系统是对被处理体进行规定处理 的处理系统，其特征在于，

具备：

对被处理体进行处理的一个或多个处理装置；

多个第一控制器，该多个第一控制器分别设置在各上述处 理装置上并控制各处理装置；以及

第二控制器，其与上述多个第一控制器连接，对上述多个 第一控制器进行统一控制，

上述第二控制器构成为：在该第二控制器的电源被切断时， 能够将构成上述处理装置的多个终端装置选择性地控制成全部 停止的停止状态以及一部分或全部处于准备对被处理体进行处 理的待机状态中的任一种状态；

上述第一控制器具有I/O信息存储部，该I/O信息存储部事 先保存有与处于上述待机状态的上述终端装置有关的I/O信息， 上述终端装置被选择性地控制成上述待机状态而上述第二控制 器被切断电源之后，该第二控制器在下次被启动时，向上述第 一控制器加载软件，上述第一控制器通过该软件，参照上述I/O 信息存储部中所保存的上述I/O信息，将与所参照的上述I/O信 息相同的I/O信息分别输出到多个上述终端装置。

4.根据权利要求3所述的处理系统，其特征在于，

上述I/O信息被分配有固有的管理编号。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的处理系统，其特征 在于，

被处理体是半导体基板。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的处理系统，其特征 在于，

上述规定处理是成膜处理。

7.根据权利要求1至4中的任一项所述的处理系统，其特征 在于，

作为上述终端装置，包括加热装置，该加热装置设置在用 于载置被处理体的载置台上。

8.一种处理系统的控制方法，该处理系统的控制方法是在 对控制器上所运行的软件版本升级时控制处理系统的控制方 法，上述处理系统是对被处理体进行规定处理的处理系统，其 特征在于，具备对被处理体进行处理的一个或多个处理装置以 及对上述处理装置进行控制的上述控制器，其中，上述控制器 构成为：在该控制器的电源被切断时，能够将构成上述处理装 置的多个终端装置选择性地控制成全部停止的停止状态以及一 部分或全部处于准备对被处理体进行处理的待机状态中的任一 种状态，

该处理系统的控制方法，其特征在于，具备以下工序：

将与上述待机状态的上述终端装置有关的I/O信息事先保 存到与上述控制器连接的I/O信息存储部中的工序；以及

在上述终端装置被选择性地控制成上述待机状态而上述控 制器被切断电源并上述控制器被安装了新软件之后，该控制器 在下次被启动时，参照上述I/O信息存储部中所保存的、与处于 上述待机状态的上述终端装置有关的上述I/O信息的工序。