[发明专利]研磨装置及研磨方法

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于，具备：

基板保持部，保持基板并使其旋转；

加压垫，将具有研磨面的带状研磨部件按压到上述基板保持部所保持 的基板的坡口部上；以及

进给机构，使上述带状研磨部件在其长度方向行进；

其中，上述加压垫具有：

硬质部件，具有隔着上述带状研磨部件而按压基板的坡口部的按压面； 和

至少1个弹性部件，将上述硬质部件隔着上述带状研磨部件向基板的 坡口部按压。

2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

上述硬质部件为，相对于基板的周向仅在其中央部固定于上述弹性部 件。

3.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在上述硬质部件的与上述按压面相反侧的背面，形成有在与上述基板 保持部所保持的基板的表面垂直的方向上延伸的多个槽。

4.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在上述硬质部件的与上述按压面相反侧的背面，形成有在与上述基板 保持部所保持的基板的表面垂直的方向上延伸的多个加强部件。

5.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

上述至少1个弹性部件是沿着基板的周向配置的多个弹性部件。

6.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

上述至少1个弹性部件在其内部具有至少1个流体室，

在上述至少1个流体室中填充有流体。

7.如权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

上述至少1个流体室是多个流体室，还具备独立地调整上述多个流体 室的内部压力的压力调整机构。

8.一种研磨方法，其特征在于，

保持基板并使其旋转；

使带状研磨部件在其长度方向行进；

将具有硬质部件和弹性部件的加压垫配置为，上述硬质部件与上述带 状研磨部件的背面相对；

通过上述加压垫将上述带状研磨部件的研磨面按压到基板的坡口部 上，而研磨该坡口部。