[发明专利]光固化性组合物及表面具有精细图案的成形体的制造方法有效
申请号: | 200880020887.3 | 申请日: | 2008-02-13 |
公开(公告)号: | CN101679568A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 川口泰秀;角崎健太郎 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | C08F220/20 | 分类号: | C08F220/20;C08F220/22;B29C59/02;H01L21/027 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 范 征;胡 烨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光固化 组合 表面 具有 精细 图案 成形 制造 方法 | ||
1.光固化性组合物,其特征在于,包含
具有2个以上的环且具有2个(甲基)丙烯酰氧基的芳香族化合物或具有 2个以上的环且具有2个(甲基)丙烯酰氧基的脂环式化合物(A),
具有氟原子且具有1个以上的碳-碳不饱和双键的化合物(B),但化合 物(B)中不包括化合物(A),
具有1个(甲基)丙烯酰氧基的化合物(C),但化合物(C)中不包括化合物 (B),以及
光聚合引发剂(D);
化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)及光聚合引发剂(D)的合计100质量 %中,化合物(A)为15~60质量%、化合物(B)为5~40质量%、化合物(C) 为10~55质量%、光聚合引发剂(D)为1~12质量%,
还含有相对于化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)及光聚合引发剂(D)的 合计100质量份为0.1~3质量份的含氟表面活性剂(G),且相对于含氟表面 活性剂(G)的总量的化合物(B)的量为0.5~100倍质量。
2.如权利要求1所述的光固化性组合物,其特征在于,实质上不含溶 剂,所述实质上不含溶剂是指完全不含溶剂或者100质量%的光固化性组 合物中含1质量%以下的溶剂的情况。
3.如权利要求1或2所述光固化性组合物,其特征在于,还含有相对 于化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)及光聚合引发剂(D)的合计100质量份 为5~30质量份的具有2个(甲基)丙烯酰氧基的化合物(E),但化合物(E)中 不包括化合物(A)及化合物(B)。
4.如权利要求1或2所述的光固化性组合物,其特征在于,还含有相 对于化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)及光聚合引发剂(D)的合计100质量 份为5~90质量份的具有3个以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物(F),但化合 物(F)中不包括化合物(B)。
5.如权利要求1或2所述的光固化性组合物,其特征在于,还含有相 对于化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)及光聚合引发剂(D)的合计100质量 份为5~25质量份的含氟聚合物(H),且相对于含氟聚合物(H)的总量的化合 物(B)的量为0.5~100倍质量。
6.表面具有精细图案的成形体的制造方法,其特征在于,包括
使权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物与表面具有所述精细 图案的反转图案的模具的具备该反转图案的表面接触的工序,
以所述光固化性组合物与所述模具的表面接触的状态对所述光固化性 组合物照射光,使所述光固化性组合物固化而形成固化物的工序,
从所述固化物分离所述模具,获得表面具有精细图案的成形体的工序。
7.表面具有精细图案的成形体的制造方法,其特征在于,包括
将权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物配置在基板表面的工 序,
将表面具有所述精细图案的反转图案的模具按压于所述光固化性组合 物,使得该模具的反转图案与所述光固化性组合物相接触的工序,
以将所述模具按压于所述光固化性组合物的状态对所述光固化性组合 物照射光,使所述光固化性组合物固化而形成固化物的工序,
从所述固化物分离所述模具或所述基板及所述模具,获得表面具有精 细图案的成形体的工序。
8.表面具有精细图案的成形体的制造方法,其特征在于,包括
将权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物配置于表面具有所述 精细图案的反转图案的模具的具备该反转图案的表面的工序,
将基板按压于所述光固化性组合物的工序,
以将所述基板按压于所述光固化性组合物的状态对所述光固化性组合 物照射光,使所述光固化性组合物固化而形成固化物的工序,
从所述固化物分离所述模具或所述基板及所述模具,获得表面具有精 细图案的成形体的工序。
9.表面具有精细图案的成形体的制造方法,其特征在于,包括
使基板和表面具有所述精细图案的反转图案的模具接近或接触,使得 该模具的反转图案位于所述基板侧的工序,
将权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物填入所述基板和所述 模具之间的工序,
以所述基板和所述模具接近或接触的状态对所述光固化性组合物照射 光,使所述光固化性组合物固化而形成固化物的工序,
从所述固化物分离所述模具或所述基板及所述模具,获得表面具有精 细图案的成形体的工序。
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