[发明专利]弹性表面波装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用作共振子、带通滤波器的弹性表面波装置；更详细 地，本发明涉及一种具有下述构造的弹性表面波装置，所述构造为采用了 填充于压电基板上的槽中的金属并形成了IDT的构造。

背景技术

以往，弹性表面波装置广泛用作共振子、带通滤波器。例如，在下述 专利文献1中公开了一种弹性表面波装置1001，其具有如图30概略表示 的截面构造。在弹性表面波装置1001中，在LiTaO₃基板1002的上面1002a 上形成了多条槽1002。在多条槽1002b中填充金属，从而形成具有由该金 属构成的多根电极指的IDT1003。为覆盖LiTaO₃基板1002的上面1002a， 层叠了SiO₂膜。由于LiTaO₃基板1002具有负的频率温度系数TCF，将具 有正的频率温度系数TCF的SiO₂膜1004层叠，可使弹性表面波装置1001 的频率温度系数TCF的绝对值变小。另外，通过采用埋入多条槽1002b 中的金属形成IDT，在IDT中可得到较大的反射系数。更具体地，当把表 面波的波长作为λ时，在将填充于槽1002b中的Al的厚度、即由Al构成 的IDT的厚度作为0.04λ的情况下，每1根电极指的反射系数为0.05，且 电极厚度越大，可得到越大的反射系数。

另一方面，在下述专利文献2中公开了如图31所示的弹性表面波装 置。在弹性表面波装置1101中，在由LiTaO₃或LiNbO₃构成的压电基板 1102上形成了IDT1103。另外，以覆盖IDT1103的方式形成了保护膜1104。 另一方面，在除去形成了IDT1103和保护膜1104的部分的残留区域中， 形成由下述SiO₂构成的第1绝缘物层1105，所述第1绝缘物层1105与层 叠IDT1103和保护膜1104而成的层叠金属膜具有同等厚度。以覆盖第1 绝缘物层1105的方式，层叠由SiO₂组成的第2绝缘物层1106。这里，通 过采用密度比Al大的金属作为IDT1103，可使反射系数的绝对值变大， 从而可抑制所不希望的纹波。

专利文献1：WO2006/011417A1

专利文献2：日本特开2004-112748号公报

发明内容

专利文献1中表明，在其所述的弹性表面波装置1001中，由Al构成 的IDT的厚度越大，反射系数的绝对值可以越大。但是本申请发明者发现， 仅仅增大反射系数的绝对值，并不能得到良好的共振特性。即，在专利文 献1所述的弹性表面波装置中，通过加厚由Al构成的电极的厚度，虽然 可增大反射系数的绝对值，但由于反射系数的符号为负，所以在带通中生 成多数的纹波，不能得到良好的共振特性。

在专利文献1中，关于IDT的厚度与反射系数的关系，仅对在LiTaO₃基板上采用由A1构成的IDT的情况进行了说明。在专利文献1的段落0129 中，虽然提示可以采用Au等其他金属形成IDT，但在该描述中仅说明了 在采用LiNbO₃基板的情况下可以采用Au等其他金属。即，在专利文献1 中并没有提示，在采用LiTaO₃基板的情况下可以采用A1以外的金属形成 IDT。

另一方面，如上所述，虽然在专利文献2中表示，在采用由密度比 A1大的金属构成的IDT的情况下可以提高反射系数绝对值，但在专利文 献2中，仅表示了可提高反射系数的绝对值、抑制纹波，并不存在关于反 射系数的符号的暗示。另外，在专利文献2中所述的弹性表面波装置中， 还存在电气机械结合系数k²小的问题。

本发明的目的在于提供一种弹性表面波装置，其消除了以往技术的缺 点，采用LiTaO₃基板作为压电基板，不仅IDT的反射系数充分增大而且 其符号为正，而且电气机械结合系数k²较大，可得到良好的共振特性、滤 波器特性。