[发明专利]弹性表面波装置

权利要求书

1.一种弹性表面波装置，其特征在于，

其具备压电基板和IDT，所述压电基板由LiTaO₃基板构成并在上面形 成有多条槽，所述IDT具有由填充于所述压电基板的上面的多条槽中的金 属所构成的电极指，

当所述金属的密度为ρ(kg/m³)、刚度为C₄₄(N/m²)时，所述金属满足下 述式(1)所示的条件，

(ρ³×C₄₄)^1/2＞1.95×10¹¹        …式(1)

其中，所述金属材料为选自Mo、Ta、Au和Pt中的至少1种金属或 以该金属为主成分的合金。

2.一种弹性表面波装置，其特征在于，

其具备压电基板和IDT，所述压电基板由LiTaO₃基板构成并在上面形 成有多条槽，所述IDT具有由填充于所述压电基板的上面的多条槽中的金 属所构成的电极指，

所述IDT由层叠了多个金属膜的层叠金属膜构成，所述多个金属膜由 选自Al、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni和Mo中的多个金属分别构成，

当将构成所述层叠金属膜的各金属膜的膜厚T与构成各金属膜的金 属密度之积的总和，除以构成所述层叠金属膜的各金属膜的厚度T的总和 所得的商作为平均密度，将该平均密度作为ρ(kg/m³)；将构成所述层叠金 属膜的各金属膜的膜厚T与构成各金属膜的金属刚度之积的总和除以构 成所述层叠金属膜的各金属膜的厚度T的总和所得的商即平均刚度作为 C₄₄(N/m²)时，所述层叠金属膜满足下述式(1)所示条件，

(ρ³×C₄₄)^1/2＞1.95×10¹¹        …式(1)。

3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其还具备覆盖所述 IDT和所述压电基板的由SiO₂或以SiO₂为主成分的无机材料构成的电介 质膜。

4.根据权利要求3所述的弹性表面波装置，其中，在将弹性表面波的 波长作为λ时，由所述电介质膜的λ标准化而成的标准化膜厚为0.05以上、 0.3以下。

5.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其中，所述LiTaO₃基板的切削角以欧拉角计为(0°±10°、70°～180°、0°±10°)。

6.根据权利要求3所述的弹性表面波装置，其中，所述LiTaO₃基板 的切削角以欧拉角计为(0°±10°、70°～180°、0°±10°)。

7.根据权利要求4所述的弹性表面波装置，其中，所述LiT_aO₃基板 的切削角以欧拉角计为(0°±10°、70°～180°、0°±10°)。