[发明专利]用于保持和移动电子器件、特别是IC’s的、具有导热体的柱塞

说明书

技术领域

本发明涉及一种柱塞，该柱塞用于保持和移动电子器件、特别是 用于将具有集成电路的器件(IC’s)向与检测装置相连的接触装置输 送或者从与检测装置相连的接触装置移除，包括一个柱塞头，该柱塞 头具有用于吸住器件的至少一个吸头和一个导热体。

背景技术

在将电子器件、例如IC’s(包括集成电路的半导体元件)例如安 装到电路板上或者以其它方式应用之前，通常对其功能性进行检测。 在此，由一通常称为“操作手(Handler)”的自动操作装置使待检测的 器件与接触装置触点接通，该接触装置特别是构成为接触座并且与检 测装置的检测头电接触。在检测过程结束后，借助于操作手将器件重 新从接触装置移开并根据检测结果对其进行分拣。

为了对器件进行保持和触点接通，操作手通常具有柱塞，即可纵 向移动的、可活塞式往复运动的保持单元，该保持单元可以特别是通 过借助于真空施加吸力来保持器件。在放置器件之后，在操作手的内 部将上述柱塞带到一个位置中，所述柱塞在该位置中可以以直线路径 继续向接触装置向前移动，直到器件与接触装置进入接触。在完成检 测过程之后，通过柱塞重新将器件从检测头上移走，并将其定位成可 以通过一卸载区从操作手中移除器件，并能够根据检测结果对其进行 分拣。

为了能够在确定的温度条件下实施检测，此外已知的是，在检测 过程之前，将所述器件调温到确定的温度。所述温度可以在例如-60℃ 到+200℃之间的范围内。

对器件的调温通常是以对流和/或传导的方式在一隔热的调温腔 中实现，该调温腔可以设置在操作手的内部或者外部。在此，在将器 件放置到柱塞上并且由柱塞向接触装置进给之前，在调温腔的内部同 时将多个器件带到所希望的温度。这里的缺点是，在加热和触点接通 之间的时间或者在器件的触点接通期间出现热量损失，这导致了，器 件在检测时刻不再具有精确的额定温度。此外，一起在调温腔中调温 的各单个器件也可能具有不同的温度。在这些器件上同样可能由于电 检测出现电功率损耗。

由US 5,977,785 A已知一种按照权利要求1前序部分所述的柱 塞。该文件中的柱塞具有一带有多个吸头的头部部件和一与吸头分开 设置的接触板的形式的导热体，所述导热体可以通过热或冷的流体被 加热或冷却。被吸住的器件贴靠在接触板上，并且可以通过该接触板 对其调温。将经调温的流体输送到接触板的闭合的循环中并从所述循 环中重新导出。但这里缺点是，头部部件必须复杂地构造并且设计得 较大，因为用于经调温的流体的供应管道和导出管道要求较多的位置， 并且接触板本身相应地也必须具有较大的尺寸。这种已知的柱塞头是 不适合于很小的电子器件或者其中多个柱塞头必须紧密地并排设置的 布置形式。

发明内容

本发明基于的目的是，提供一种开头所述类型的柱塞，利用这种 柱塞能够以尽可能精确的方式在确定温度条件下实现对电子器件的检 测。此外，该柱塞的结构应简单，并且在头部区域中具有小的结构尺 寸，以便使该柱塞也适用于小的器件。

按照本发明，该目的通过一种柱塞来实现，该柱塞用于保持和移 动电子的器件，该柱塞具有一柱塞头以及一个导热体，该柱塞头具有 至少一个用于吸住所述器件的吸头，所述导热体能够通过流体调温并 设置成使被吸住的器件贴靠在导热体上，其中，吸头被引导穿过导热 体。

按照本发明，吸头穿过导热体。通过按照本发明的导热体，通过 热传导实现从导热体到器件的非常快速和强化的热传递。导热体本身 由于其大的表面和其材料可以通过流体快速地调温，该流体优选由气 体、特别是由净化的空气或者氮气组成。在此，该流体可以从操作手 的内腔或通过柱塞的流体管道被导向导热体。根据应在低温、环境温 度或高温下测试检测器件，对导热体并由此对器件进行冷却、将其保 持在环境温度或进行加热。通过直接在柱塞头上进行器件的调温，可 以在将器件递送向所配设的接触装置期间以及甚至还在检测过程期间 对保持在柱塞头上的器件调温，以便能够消除在递送运动期间、以及 在检测过程期间的热量损失或至少使其最小化。因此器件的调温能够 以十分精确的方式实现。此外，头部部件可以简单地构造并具有小的 结构尺寸，从而所述柱塞不仅可以用于大规格的器件，而是也可以用 于小的器件。