[发明专利]用于保持和移动电子器件、特别是IC’s的、具有导热体的柱塞

权利要求书

1.柱塞，该柱塞用于保持和移动电子的器件，该柱塞具有一柱塞 头(2、2’)，该柱塞头具有至少一个用于吸住所述器件(3)的吸头(23) 以及一个导热体(19、19’)，所述导热体能够通过流体调温并设置成 使被吸住的器件(3)贴靠在导热体(19、19’)上，其特征在于，吸 头(23)被引导穿过导热体(19、19’)。

2.如权利要求1所述的柱塞，其特征在于，导热体(19、19’) 具有中心的、轴向的通孔(28)，吸头(23)穿过该通孔。

3.如权利要求1所述的柱塞，其特征在于，导热体具有多个的通 孔(28)，各一个吸头(23)分别穿过各所述通孔。

4.如权利要求1到3之一所述的柱塞，其特征在于，柱塞头(2、 2’)具有支承被吸住的器件(3)的保持座(14、14’)，该保持座具有 一轴向的通道(18)，导热体(19、19’)在该通道中围绕吸头(23) 设置。

5.如权利要求4所述的柱塞，其特征在于，导热体(19、19’) 相对于保持座(14、14’)弹性地设置。

6.如权利要求4所述的柱塞，其特征在于，导热体(19、19’) 相对于柱塞(1)的纵轴能倾斜地设置。

7.如权利要求1到3之一所述的柱塞，其特征在于，导热体(19、 19’)由一盘形体和突出于该盘形体的肋(21)组成，其中盘形体具有 平的前端面(20)，该前端面能与器件(3)接触，肋(21)向后突出 于该盘形体。

8.如权利要求4所述的柱塞，其特征在于，保持座(14’)在其 背侧上具有流体导向槽(49)，该流体导向槽通入保持座(14’)的轴 向的通道(18)中，以便有目的地在背侧将被向保持座(14’)引导的 流体引导到设置在轴向的通道(18)中的导热体(19’)。

9.如权利要求5所述的柱塞，其特征在于，导热体(19’)通过 在轴向方向上延伸的螺栓(42)能移动地被引导，该螺栓在其前端部 上具有螺栓头(44)，该螺栓头具有前部的表面和后部的表面，前部的 表面构成用于器件(3)的轴向止挡，而后部的表面构成用于导热体 (19’)的轴向止挡。

10.如权利要求9所述的柱塞，其特征在于，通过弹簧(46)向 前推压导热体(19’)，各所述弹簧绕所述螺栓(42)设置。

11.如权利要求1到3之一所述的柱塞，其特征在于，柱塞头(2、 2’)具有一保持座(14、14’)，该保持座构成为导热体。

12.如权利要求11所述的柱塞，其特征在于，保持座(14、14’) 在其背侧上具有肋，这些肋扩大了保持座的表面，并由此改善了从流 体到保持座(14、14’)的热传递。

13.如权利要求1所述的柱塞，其特征在于，所述柱塞用于向与 检测装置相连的接触装置输送或从该接触装置移除具有集成电路的器 件。