[发明专利]用于涂覆以最密堆积设置在基座上的多个基板的装置

权利要求书

1.一种用于涂覆多个基板(3)的装置，所述基板(3)以规则的方式 布置在配属于一处理室(14)的基座(1)的支撑表面(2)上，所述支撑表 面(2)形成用于每个基板(3)的边缘接合的邻接侧面(5)，其特征在于， 所述邻接侧面(5)由多个竖直件(4)的侧壁(5)定义，所述多个竖直件 (4)从所述支撑表面(3)突伸出，并且彼此隔开一间距，所述各竖直件位 于蜂巢状图案的拐角点(10)，并且在平面图中具有基本上对应于等边三角 形的形状，但具有向内弯曲的边(5)，其中，所述竖直件(4)彼此隔开以 使得相邻基板(3)的边缘部分(8)接触或彼此相距仅百分之几毫米。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述竖直件(4)是插入 件，所述插入件插入所述支撑表面(2)中的插入开口(9)中。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述插入件由与组成所 述基板(3)的材料相同的材料组成。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述基板由蓝宝石或者 半导体材料组成。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基座(1)由石墨或 金属或石英组成。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述邻接侧面(5)的高 度基本上对应于基板(3)的材料厚度。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述处理室(14)设置 在水平基座(1)之上，所述处理室向上由气体进口构件(15)的下侧定界， 所述气体进口构件具有面朝下的开口，所述开口以淋浴喷头的方式分布在所 述气体进口构件(15)的整个面朝下的气体出口表面，并且一种或多种处理 气体从所述开口进入所述处理室(14)，以便以气相自发地或由位于所述基 座(1)下面的加热器热激活地在所述基板的上表面上反应。