[发明专利]用于制备内含层的方法有效
| 申请号: | 200880016194.7 | 申请日: | 2008-05-16 |
| 公开(公告)号: | CN101688287A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
| 发明(设计)人: | C·D·朗;A·戈纳佳;P·A·桑托 | 申请(专利权)人: | E.I.内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;H01L51/50;H01L51/00 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 朱黎明 |
| 地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 制备 内含 方法 | ||
1.在第一层上形成内含的第二层的方法,所述方法包括:
形成具有第一表面能和第一玻璃化转变温度的第一层;
在将所述第一层的温度维持在第一层的玻璃化转变温度或熔融温度以下的 温度的同时,使中间材料在所述第一层上冷凝并与所述第一层直接接触以形成中 间层,所述中间层具有低于第一表面能的第二表面能;
使所述中间层图案化以形成所述第一层的未覆盖区域和所述第一层的覆盖 区域;以及
在所述第一层的未覆盖区域上形成内含的第二层。
2.权利要求1的方法,其中所述中间材料包含反应性表面活性组合物。
3.权利要求2的方法,其中所述图案化步骤包括将所述反应性表面活性组 合物暴露于辐射。
4.权利要求2的方法,其中所述反应性表面活性组合物为氟化材料。
5.权利要求2的方法,其中所述反应性表面活性组合物为可辐射硬化的材 料。
6.权利要求2的方法,其中所述反应性表面活性组合物为可交联的氟化表 面活性剂。
7.权利要求3的方法,其中以图案方式施加所述辐射以形成所述反应性表 面活性组合物的暴露区域和未暴露区域。
8.权利要求7的方法,所述方法还包括将所述反应性表面活性组合物的暴 露区域或未暴露区域移除。
9.权利要求8的方法,其中通过液体处理将所述区域移除。
10.权利要求8的方法,其中通过选自加热、施加真空、以及它们的组合 的步骤将所述区域移除。
11.权利要求10的方法,其中所述加热通过红外线激光器来实施。
12.权利要求1的方法,其中所述中间材料由临时载体上的涂层冷凝。
13.用于制造有机电子器件的方法,所述有机电子器件包括设置在电极上 的第一有机活性层和第二有机活性层,所述方法包括:
在所述电极上形成具有第一表面能和第一玻璃化转变温度的第一有机活性 层;
在将所述第一有机活性层的温度维持在第一有机活性层的玻璃化转变温度 或熔融温度以下的温度的同时,使中间材料在所述第一有机活性层上冷凝并与所 述第一有机活性层直接接触以形成中间层,所述中间层具有低于第一表面能的第 二表面能;
使所述中间层图案化以形成所述第一有机活性层的未覆盖区域和所述第一 有机活性层的覆盖区域;以及
在所述第一有机活性层的未覆盖区域上形成内含的第二有机活性层。
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