[发明专利]制造固定功率模块的方法有效
| 申请号: | 200880014260.7 | 申请日: | 2008-04-02 | 
| 公开(公告)号: | CN101689538A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 | 
| 发明(设计)人: | H·乌尔里克;T·森伊利茨;R·艾塞尔 | 申请(专利权)人: | 丹福斯矽电有限责任公司 | 
| 主分类号: | H01L23/495 | 分类号: | H01L23/495;H01L21/56;H01L21/48 | 
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 赵 辛;梁 冰 | 
| 地址: | 德国石*** | 国省代码: | 德国;DE | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制造 固定 功率 模块 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种制造刚性功率模块的方法。
背景技术
功率模块的已知实施例包括开放的功率半导体,其焊接或直接胶 合到金属引线框。
典型地,单个引线框通过塑料框固定,该塑料框通过将引线框部 件插入模具中传递模压形成。在注入框内引线框承载部件,且在框外, 引线框部件的接线头提供部件组到其它部件的电连接。
这种功率模块的引线框部件分布在数个水平面上,且必须彼此电 绝缘,这迫使它们以几个部分制造。低水平面的内部设置有半导体, 且下引线框的相对金属侧面对外部冷却表面。这种模块不包括衬底板 (例如陶瓷导体板DCB)乃至用于散热的铜底板。
进一步,必须考虑到,当切换电流时,功率半导体产生功率耗散, 这随切换频率和外部温度成比例增大。
因此主要方面是将耗散的功率以可能的最佳方式传递到外部冷 却通路(例如风冷或水冷的铝冷却元件)。
然而,与引线框直接电连接的功率模块必须与外部冷却通路充分 绝缘。为此目的,引线框表面由塑料膜覆盖,其厚度按照要求的绝缘 电压(例如US 20040026778)。对于低压应用,已知一种解决方案 (WO 2005017970),其中需要特殊的膏以利用颗粒确保最小距离。 但是,与陶瓷(~25到160W/mK)相比,这种膏的导热性(~1W/mK) 相对差。
如果根据现有技术,在插入绝缘膏的情况下将功率模块固定在冷 却部件上,会产生特别的问题。
缺失的衬底板、或者缺失的底板会降低螺钉点之间模块的刚性, 因此接触压力太低而不能以薄层将膏分散。
当螺钉安装时,具有开放内腔的引线框模块像带的多接系统一样 作用。这引起导热膏在模块热负载中心处枕状成形。由于缺失的刚性, 导热膏在中心的厚度通常3-4倍于无衬底的模块的边缘处的厚度。
发明内容
本发明的任务是提出一种制造增强刚性的功率模块的方法,其也 可承受多个热循环,且同时满足高的机械性能要求,例如汽车工业中 所要求的。
根据本发明,提出一种制造刚性功率模块的方法,包括以下步骤:
制造单块引线框;
向所述引线框装配半导体元件、任意无源元件及对应引线的焊 接;
将装配好的引线框插入模具中,以便确保未封装引线框的可达 性;
通过安装模将所述引线框固定在模具中;
将硬塑模压材料注入模具中,从而封装装配好的引线框
其中,
在封装期间,空腔保持在封装中预定位置处,且
在前述单块引线框的引线框材料的电绝缘岛的形成下,通过插入 空腔中的冲压工具产生支承部与单块引线框随后的分离。
具体地,引线框的初始制造,将框架装备半导体元件并进行接合 (bond),随后将该装配好的引线框插入模具中,通过安装模将引线 框固定在模具中,并在模压步骤中利用硬塑模压材料封装引线框,产 生具有玻璃硬度的功率模块,当模压材料具有与封装结构的主要成分 相同的热膨胀系数时。
该封装结构保护半导体及其薄的接合不受到任何热损伤,也防止 由热循环产生的单独材料的蠕变。在铜引线框的情况下,主要材料将 是铜;然而,如果由铜以外的材料制成,其也可以是导热板材料。
优选的是通过添加低膨胀系数的颗粒、例如80-90%填充量的 SiO2的粉末,来调整模压材料的热膨胀系数。即,如果需要,可以添 加少于80%,或者添加一部分一种粉末而一部分另一种粉末。另外, 两种粉末均可以是或者包含SiO2,因而仅在颗粒尺寸上不同。为了调 节刚性,可以提供特定颗粒尺寸分布。
然而,模压材料也可以设计成其热膨胀系数在功率模块的两个主 要材料的热膨胀系数之间,该两个主要材料的热膨胀系数最好彼此相 近,热膨胀系数能够非常精确地调整,例如通过添加低膨胀的氧化硅 粉末。通过添加特定颗粒尺寸分布,在模压之前及之后-在结束状态 中-模压材料的柔性可以另外地调节。
如果仅添加非常小的颗粒尺寸、例如粉末,模压材料将仍是略微 柔性的,而不同粒度或者仅大粒度的添加会引起水泥般硬度。
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