[发明专利]移动体装置

说明书

技术领域

本发明是关于移动体装置、图案形成装置、曝光装置以及元件制造方法，更详言之，是关于具备实质沿既定平面移动的移动体的移动体装置、将图案形成于装载于移动体的物体上的图案形成装置、通过照射能量束于物体形成图案的曝光装置、以及使用该曝光装置的元件制造方法。 

背景技术

以往，在制造半导体元件、液晶显示元件等的电子元件(微型元件)的微影工艺中，主要使用步进重复方式的投影曝光装置(所谓步进器)、步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进器(亦称扫描器))等。 

此种投影曝光装置，保持被曝光基板、例如晶片的载台的位置，一般是使用激光干涉仪来测量。然而，伴随着半导体元件的高集成化导致的图案的微细化，而使所要求的性能变严格，例如就重迭误差来看，综合性的重迭误差的容许值成为数nm级，载台的位置控制误差的容许值亦成为次毫级以下，目前因激光干涉仪的光束路上的环境气氛的温度变化及/或温度梯度影响而产生的空气摇晃所导致的测量值的短期变动，已逐渐无法忽视。 

因此，最近有一种与干涉仪相较较不易受到空气摇晃影响的高分析能力的编码器越来越受到瞩目，且已提出了一种将该编码器用于晶片载台等的位置测量的曝光装置相关发明(参照例如国际公开第2007/097379号小册子等)。 

上述国际公开第2007/097379号小册子所揭示的曝光装置等，使用多个编码器读头进行晶片载台等的位置测量。然而，在使用多个编码器读头进行晶片载台等的位置测量时，有可能因各编码器读头的动作不良、例如机械式故 障等导致该编码器读头的输出产生异常。另一方面，为了实现即使在上述状况下仍能实现高精度的曝光，被要求有能持续高精度测量晶片载台的位置的方式。 

发明内容

根据本发明的第一态样，提供一种第一移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其具备：标尺，配置于该移动体与该移动体外部中的一方，具有以与该既定平面平行的面内的第一方向为长边方向、且于与该第一方向正交的第二方向具有既定宽度的光栅部；以及测量装置，在配置于该标尺上的多个测量点测量该移动体在该光栅部的周期方向的位置信息；该多个测量点的配置，设定成该多个测量点中的n点(其中n为2以上的整数)以上位于该标尺上的该既定宽度内，且在该移动体位于既定位置时该多个测量点中的n+1点以上位于该标尺上的该既定宽度内。 

根据上述，测量装置所具有的多个测量点中的n点(其中n为2以上的整数)以上位于标尺上的既定宽度内，且在移动体位于既定位置时n+1点以上位于标尺上的既定宽度内。因此，至少可在一个测量点，测量移动体在标尺所具有的光栅部的周期方向的位置信息。因此，即使位于标尺上的既定宽度内的n点以上、在移动体位于既定位置时在n+1点以上的测量点一部分的测量产生异常，亦可在剩余的测量点确实地测量移动体在标尺所具有的光栅部的周期方向的位置信息。 

根据本发明的第二态样，提供一种第二移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其具备：标尺，配置于该移动体与该移动体外部中的一方，具有以与该既定平面平行的面内的第一方向为长边方向、且于与该第一方向正交的第二方向具有既定宽度的光栅部；测量装置，在配置于该标尺上的多个测量点测量该移动体在该光栅部的周期方向的位置信息；该测量装置，具有多个包含对第一测量点照射测量光的第一读头、以及对该第一测量点或其 附近照射测量光的第二读头的读头组。 

根据上述，测量装置，具有多个包含对多个测量点中的第一测量点照射测量光的第一读头、以及对第一测量点或其附近照射测量光的第二读头的读头组。因此，即使当读头组所含的第一读头与第二读头中的一读头的测量信息产生异常，由于能使用另一读头，因此读头组可稳定地对标尺照射测量光，测量移动体在标尺所具有的光栅部的周期方向的位置信息。因此，通过使用具有多个读头组的测量装置，即能确实地测量移动体在标尺所具有的光栅部的周期方向的位置信息。 

根据本发明的第三态样，提供一种第三移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其具备测量装置，在配置于该移动体的移动范围内的多个测量点测量该移动体在该既定平面内的一自由度方向的位置信息；该测量装置具备多个读头，该多个读头在该移动体位于该既定位置时对该多个测量点中的至少一个照射测量光，以生成测量信息。