[发明专利]移动体装置

权利要求书

1.一种移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其具备：

标尺，配置于该移动体与该移动体外部中的一方，具有以与该既定平面 平行的面内的第一方向为长边方向、且于与该第一方向正交的第二方向具有 既定宽度的光栅部；以及

测量装置，在配置于该标尺上的多个测量点测量该移动体在该光栅部的 周期方向的位置信息；

该多个测量点的配置，设定成该多个测量点中的n点以上位于该标尺上 的该既定宽度内，且在该移动体位于既定位置时该多个测量点中的n＋1点以 上位于该标尺上的该既定宽度内，其中n为2以上的整数；

其进一步具备控制装置，优先使用第一测量信息进行该移动物体的位置 控制，该第一测量信息包含在位于该标尺的该既定宽度内的该n点以上的测 量点中的第一测量点的测量信息、或包含在该移动体位于该既定位置时位于 该标尺的既定宽度内的该n＋1点以上的测量点中的第一测量点的测量信息；

该控制装置，在位于该标尺的该既定宽度内的测量点的测量信息产生异 常时，将优先使用于该移动体的位置控制的测量信息，切换成包含在与该第 一测量点不同的第二测量点的测量信息的第二测量信息。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该标尺设于该移动体的与该既 定平面实质平行的面。

3.如权利要求2所述的移动体装置，其中，于该移动体设有一对在该第二 方向分离的该标尺；

该测量点的配置设定成在该移动体位于该既定平面内的既定范围时，n个 以上的测量点随时位于该一对标尺的至少一方。

4.如权利要求2所述的移动体装置，其中，于该移动体，进一步地设有一 对各自的长边方向朝向该第二方向且在该第一方向分离的其他标尺；

该测量点的配置设定成在该移动体位于该既定平面内的既定范围时，n个 以上的测量点随时位于该一对其他标尺的至少一方。

5.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该控制装置，在该第一测量点 的测量信息产生异常时，将用于该移动体的位置控制的测量信息切换成该第 二测量信息。

6.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该第一测量信息及该第二测量 信息分别包含在多个测量点的测量信息。

7.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该第一测量信息及该第二测量 信息分别是在一个测量点的测量信息。

8.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该测量装置具有多个对测量点 照射测量光的读头；

当该测量信息的异常因该读头的动作不良而产生时，该控制装置即进行 该切换。

9.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该测量装置，具有多个对测量 点照射测量光的读头，该多个读头分别对彼此不同的测量点照射该测量光。

10.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该测量点，在与该标尺的长 边方向正交的方向，每隔该标尺的既定宽度一半以下的间隔，配置成实质等 间隔。

11.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该测量装置，具有对同一测 量点照射测量光的第一、第二读头，从该第一读头照射的测量光的照射区域 与从该第二读头照射的测量光的照射区域，在不重迭的状态下彼此接近。

12.一种图案形成装置，于物体形成图案，其具备：

于该物体上形成图案的图案化装置；以及

将该物体装载于该移动体的权利要求1至11中任一权利要求所述的移动 体装置。

13.如权利要求12所述的图案形成装置，其中，该物体具有感应层，该图 案化装置通过使该感应层曝光而于该物体上形成图案。

14.一种曝光装置，通过照射能量束将图案形成于物体，其具备：

对该物体照射该能量束的图案化装置；

将该物体装载于该移动体的权利要求1至11中任一权利要求所述的移动 体装置；以及

为了使该物体相对该能量束移动，而驱动该移动体的驱动装置。

15.一种元件制造方法，包含使用权利要求14所述的曝光装置以能量束使 物体曝光的步骤与使已曝光的该物体显影的步骤。