[发明专利]包括非易失性存储器阵列的电子器件和使用该器件的方法有效

专利信息
申请号: 200880011299.3 申请日: 2008-03-20
公开(公告)号: CN101652855A 公开(公告)日: 2010-02-17
发明(设计)人: 罗纳德·J·希兹德克;高里尚卡尔·L·真达洛雷;托马斯·尤 申请(专利权)人: 飞思卡尔半导体公司
主分类号: H01L21/8247 分类号: H01L21/8247;H01L27/115
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 刘光明;穆德骏
地址: 美国得*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 包括 非易失性存储器 阵列 电子器件 使用 器件 方法
【说明书】:

技术领域

本公开涉及电子器件和方法,并且更确切地说,涉及包括非 易失性存储器阵列的电子器件和使用该器件的方法。

背景技术

非易失性存储器(“NVM”)阵列用于电子器件。通过使 电荷隧穿电荷储存区(例如,浮栅、非连续储存元件等)的电介质层 (“隧道氧化物”)来执行NVM阵列的擦除。隧穿电荷可以使电荷俘 获位置(site)在隧道氧化物内形成。电荷俘获位置增大,并且最终可 能使隧道氧化物的绝缘性质降低到电荷储存区再也无法存储电荷的 点。因此,通过减少在NVM阵列上执行的擦除脉冲的累积数目,可以 延长NVM阵列的寿命。

可以设计NVM阵列使得以存储器单元为基础来在存储器 单元上完成擦除。然而,擦除是比编程或读取NVM阵列慢很多的过程。 因此,对于大多数应用,通过以块(“扇区”)而不是一次一个存储 器单元来擦除NVM阵列,可以改善整体性能和区域。在一个示例中, 在NVM阵列的扇区上执行擦除序列包括,相对于0V的体电压(bulk voltage),将大于12V的电压施加到扇区的各个存储器单元的控制栅线。 在擦除序列期间,同时擦除NVM阵列的扇区的所有存储器单元。然后, 独立地检查该扇区的存储器单元,以验证完成了每个存储器单元的擦 除。如果没有完全擦除该扇区的任何存储器单元,则进一步擦除该扇 区的所有存储器单元,包括先前被验证为已擦除的任何存储器单元。 当所有存储器单元都被验证为已经完成擦除时,该擦除序列结束。在 这样的情况下,在扇区中的所有存储器单元接收相等数目的擦除脉冲。

然而,用以完全擦除存储器单元的擦除脉冲的数目可能在扇 区内变化。因此,在扇区内可能存在第一擦除的存储器单元,该存储 器单元实际上是第一个成为已擦除的存储器单元;以及最后擦除的存 储器单元,该存储器单元实际上是最后一个变成已擦除的存储器单元。 在该示例中,最后擦除的存储器单元可能需要比第一擦除的存储器单 元更多脉冲来进行擦除。因此,第一擦除的存储器单元在验证为已经 完成擦除之后可能遭受额外的擦除脉冲。额外的擦除脉冲缩短了第一 擦除存储器单元的潜在寿命。

在擦除扇区之后,该扇区的存储器单元具有阈值电压 (“Vth”)值的统计分布。随着在扇区内的单元数目的增加,在第一 擦除和最后擦除的存储器单元之间的差值(delta)Vth可能增加降低该 器件的写/擦除耐久能力。差值Vth的大小很大程度上受一次擦除的存储 器单元的数目的控制。因此,差值Vth的控制能够限制扇区的大小以及 NVM阵列的擦除性能。

附图说明

通过参考附图,可以更好地理解本公开,并且使本公开的很 多特征和优点对于本领域的技术人员显而易见。通过示例而非限定方 式,在附图中图示了本公开的主题。

图1包括电子器件的NVM阵列的框图的图示。

图2包括图1的框图的一部分的框图的图示,包括来自NVM 阵列的第一扇区的两个存储器单元集合以及来自NVM阵列的第二扇区 的两个存储器单元集合。

图3包括来自图2的框图的四个存储器单元集合的每一个的 特定存储器单元的电路图的图示。

图4包括NVM阵列的擦除过程的流程图的图示。

图5包括根据可选实施例的NVM阵列的擦除过程的流程图 的图示。

本领域的技术人员意识到,在附图中的元件是出于简明和清 楚目的来图示的,并且不必按比例绘制。例如,附图中的一些元件的 尺寸可能相对于其它元件被放大,以帮助促进对本发明实施例的理解。 不同附图中相同的附图标记的使用指示类似或相同的项。

具体实施方式

一种电子器件能够包括:NVM阵列,该NVM阵列具有第一 存储器单元和第二存储器单元。第一存储器单元能够包括第一源极, 并且第二存储器单元能够包括第二源极。第一存储器单元和第二存储 器单元能够位于存储器阵列的同一扇区内。在一个实施例中,擦除该 电子器件能够包括,在抑制第二存储器单元的擦除的同时,擦除该第 一存储器单元。第三存储器单元能够具有第三源极,并且位于另一个 扇区内。在另一个实施例中,抑制第一存储器单元的擦除能够包括将 第一源极和第三源极置于同一电势。在特定实施例中,第一存储器单 元的第一源极能够与第一存储器单元的第二源极电绝缘。

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