[发明专利]控制狭缝门密封压力的方法和设备

权利要求书

1.一种狭缝阀组件，其包括：

狭缝阀体，其包括第一壁及第二壁；及

布置于该狭缝阀体内的狭缝阀门，该狭缝阀门包括：

朝向该第一壁的密封表面；

实质上平行于朝向该第二壁的该密封表面的支撑表面，其中该支 撑表面配置成自该密封表面向外延伸；及

供气装置，其配置成用以改变作用在该密封表面上的密封力。

2.如权利要求1所述的组件，其更包括该狭缝阀门内部的导管，该导 管与该内部空腔及该供气装置贯通。

3.如权利要求1所述的组件，其中该支撑表面当其延伸时接触该第二 壁。

4.如权利要求3所述的组件，其中当该支撑表面延伸时，该密封表面 接触该第一壁。

5.如权利要求2所述的组件，其中该供气装置包括一或多个气体源及 一或多个阀，以将一选定气体源应用于该导管。

6.一种用于将两个真空室耦接在一起的装置，其包括：

密封构件，其包括第一面及第二面；

耦接至该第一面的密封件；

耦接至该第二面的可移动延伸件；

一或多个耦接至该密封构件的提升杆，每一提升杆包括与该可移动延 伸件贯通的导管；及

可调压力的供气装置，其与一或多个这些导管贯通。

7.如权利要求6所述的装置，其中该供气装置包括处于不同压力的数 个气体源。

8.如权利要求6所述的装置，其中该密封件包括O形环。

9.如权利要求6所述的装置，其更包括壳体，其以第一表面朝向该第 一面及第二表面朝向该第二面。

10.如权利要求9所述的装置，其中该可移动延伸件当其延伸时接触 该第二表面。

11.如权利要求6所述的装置，其更包括用于选择应用于每一导管的 气体压力的选择器。

12.一种方法，其包括：

在第一室与第二室之间布置狭缝阀门，该狭缝阀门具有密封表面及实 质上平行于该密封表面的支撑表面；

在该密封表面与该支撑表面之间提供可调压力的气体以关闭该狭缝阀 门；及

调整该密封表面与该支撑表面间的距离以控制密封力。

13.如权利要求12所述的方法，其更包括感测该第一室与该第二室间 的压力差，及基于该第一室与该第二室间的压力差来调整该气体的压力。

14.如权利要求12所述的方法，其中提供该气体包括提供处于不同压 力的数个气体源，及用于一次将一气体源应用于该导管的选择器。

15.如权利要求12所述的方法，其更包括通过使用该密封表面以密封 在该第一室的壁中的第一开口及将密封力施加至该支撑表面，从而阻塞该 第一室与该第二室间的通道。