[发明专利]顶板以及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种顶板，设置在可抽真空的处理容器的顶部，能够使从排列 设置的平面天线构件的狭缝中放射出的微波透过到上述处理容器内，其 特征在于，

具有在上述顶板的面对上述处理容器内的一面放射状设置的多个 突起部，

按照在上述顶板的设置了突起部的部分中传播的微波、和在上述顶 板的未设置突起部的部分中传播的微波，所传播的微波的传播模式的种 类的数量不同的方式，分别对上述顶板的设置了突起部的部分的厚度和 上述顶板的未设置突起部的部分的厚度进行设定，

上述狭缝的对在上述平面天线构件中被沿着同心圆排列，

上述突起部的数量与被排列成同心圆状的上述狭缝的对中的在内 侧的同一圆上所排列的上述狭缝的对的数量相等。

2.根据权利要求1所述的顶板，其特征在于，上述突起部的宽度 为在上述顶板中传播的微波的波长的1/10～1/2的范围内。

3.根据权利要求1所述的顶板，其特征在于，三个以上的上述突 起部以上述顶板的中心部为中心，在圆周方向上以等角度放射状地设 置。

4.根据权利要求1所述的顶板，其特征在于，在上述顶板的面对 上述处理容器内的一面，设置有一个或者多个环状突起部。

5.一种等离子体处理装置，其特征在于，具有：

在顶部开口并可抽真空的处理容器；

微波发生部，其发生等离子体发生用的微波，

平面天线构件，其具有多个狭缝，该多个狭缝在上述顶部的开口处 设置，并用于向上述处理容器内导入来自上述微波发生部的微波；

顶板，其气密地设置在上述顶部的开口处，使从上述平面天线构件 的狭缝中放射出的微波透过并导入到上述处理容器内，

在上述顶板的面对上述处理容器内的一面放射状地设置有多个突 起部，

按照在上述顶板的设置了突起部的部分中传播的微波、和在上述顶 板的未设置突起部的部分中传播的微波，所传播的微波的传播模式的种 类的数量不同的方式，分别对上述顶板的设置了突起部的部分的厚度和 上述顶板的未设置突起部的部分的厚度进行设定，

上述狭缝的对在上述平面天线构件中被沿着同心圆排列，

上述突起部的数量与被排列成同心圆状的上述狭缝的对中的在内 侧的同一圆上所排列的上述狭缝的对的数量相等。

6.根据权利要求5所述的等离子体处理装置，其特征在于，上述 突起部的宽度为在上述顶板中传播的微波的波长的1/10～1/2的范围内。

7.根据权利要求5所述的等离子体处理装置，其特征在于，三个 以上的上述突起部以上述顶板的中心部为中心，在圆周方向上以等角度 放射状地设置。

8.根据权利要求5所述的等离子体处理装置，其特征在于，上述 顶板的面对上述处理容器内的一面设置有以上述顶板的中心部为中心 的一个或者多个环状突起部。

9.根据权利要求5所述的等离子体处理装置，其特征在于，上述 顶板的突起部与上述平面天线构件的狭缝的位置对应地设置。