[发明专利]粗微移动装置以及具有该装置的液体供给装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过大行程的粗移和小行程的微移将移动体精确地移动到预定位置的粗微移动装置，以及具有这种粗微移动装置的液体供给装置。

背景技术

一种液体供给装置包括具有供给头部的移动体，并且例如，将液体从供给头部供给到作为工件的基板上以形成具有预定图案的涂液部。在这种液体供给装置中，移动体必须总是设在从基板的表面恒定隔开预定距离的位置以形成均匀的涂液部。在现有技术中，例如，专利文献1提出了一种实现这种要求的粗微移动装置。

在现有技术的粗微移动装置中，两个轨道设置在基部上以可移动地支撑第一移动体和第二移动体。一进给螺杆设置在基部上。一螺母固定于第一移动体并与所述进给螺杆螺合。压电元件设置在第一移动体和第二移动体之间。并且，两个螺旋弹簧连接所述两个移动体。驱动马达使进给螺杆转动以大行程让第一移动体和第二移动体粗移动。在粗移动停止的状态下给压电元件施加电压使压电元件膨胀或收缩，使得所述第二移动体相对所述第一移动体以小行程微移。这种移动使得当将保持在第二移动体上的被移动部件定位在预定位置时，能够进行细微调整。

但是，现有技术的这种粗微移动装置中，例如，进给螺杆的低加工精度或低组装精度会从第一移动体经由压电元件影响到第二移动体。在这种情况下，即使保证了轨道的精度，也不能将第二移动体高精度地移动到所需的位置。在专利文献1的粗微移动装置中，没有措施解决该问题。因此，将第二移动体移动到所要位置的精度很低。

专利文献1：日本实用新型公开号5-66592。

发明内容

本发明的第一方面提供一种将移动体高精度地移动到所需位置的粗微移动装置。

本发明的另一个方面提供一种在工件上高精度地形成涂液部的液体供给装置。

本发明的第一方面是一种粗微移动装置。所述装置包括引导件。第一移动体和第二移动体可沿着所述引导件移动。连接件以相对可移动的方式连接所述第一移动体和所述第二移动体。第一驱动机构将所述第一移动体粗移第一行程。第二驱动机构设置在所述第一移动体和第二移动体之间，并且相对所述第一移动体将所述第二移动体微移第二行程。所述第二驱动机构包括设置在所述第一移动体和第二移动体其中之一上的致动器。所述致动器包括具有第一接触面的接触器。所述第一移动体和第二移动体中的另一个包括可与所述接触器的所述第一接触面接触的第二接触面。所述第一接触面和第二接触面中的至少一个为球形。至少两个第一被引导体彼此相向地设置在所述第一移动体上并且通过所述两个轨道引导。至少两个第二被引导体彼此相向地设置在所述第二移动体上并且通过所述两个轨道引导。所述装置还包括驱动所述第一驱动机构的马达。所述第一驱动机构包括：通过所述马达转动的进给螺杆；以及固定于所述第一移动体并与所述进给螺杆螺合的螺母，其中所述进给螺杆设置在所述两个轨道之间。所述粗微移动装置还包括：第一弹簧，所述第一弹簧连接成作用于所述螺母上，并且在沿着所述进给螺杆的轴向的一个方向偏压所述螺母。

附图说明

图1为示出具有第一实施例的粗微移动装置的液体供给装置的主视示意图；

图2为示出了图1的粗微移动装置的放大主视图；

图3为示出了图2的粗微移动装置的侧视图；

图4(a)为沿图2的线4-4的剖视放大图，图4(b)为示出图4(a)部分的放大剖视图；

图5(a)为沿图2的线5-5的剖视放大图，图5(b)为示出图5(a)部分的放大剖视图；

图6为沿图2的线6-6的剖视图；

图7为沿图2的线7-7的部分剖视图；

图8为第二实施例的粗微移动装置的部分剖视图；

图9为第三实施例的粗微移动装置的部分剖视图；

图10(a)为第四实施例的粗微移动装置的剖视图，图10(b)为示出图10(a)的部分的剖视放大图。

具体实施方式

第一实施例

现在参考图1-7，说明根据本发明的第一实施例的液体供给装置。液体供给装置例如是用于基板生产设备的液体供给装置。

如图1所示，液体供给装置包括底座11。工作台12设置在底座11上，并且诸如基板的工作件W通过真空吸附装置(未示出)可拆卸地安装到并保持在工作台12的上表面。门形台架13以横跨工作台12的状态被支撑在底座11上使得在Y轴方向(与图1的平面正交的方向)可移动。台架13包括由马达构成的Y轴致动器14。台架13通过Y轴致动器14在Y轴方向移动。