[发明专利]粗微移动装置以及具有该装置的液体供给装置

权利要求书

1.一种粗微移动装置，包括：

包括两个平行轨道的引导件；

可沿着所述引导件移动的第一移动体和第二移动体；

连接件，所述连接件以相对可移动的方式连接所述第一移动体和所述第二移动体；

第一驱动机构，所述第一驱动机构将所述第一移动体粗移第一行程；

第二驱动机构，所述第二驱动机构设置在所述第一移动体和第二移动体之间，并且相对所述第一移动体将所述第二移动体微移第二行程，其中所述第二驱动机构包括设置在所述第一移动体和第二移动体其中之一上的致动器，所述致动器包括具有第一接触面的接触器，所述第一移动体和第二移动体中的另一个具有可与所述接触器的所述第一接触面接触的第二接触面，并且所述第一接触面和第二接触面中的至少一个为球形；

至少两个第一被引导体彼此相向地设置在所述第一移动体上并且通过所述两个轨道引导；

至少两个第二被引导体彼此相向地设置在所述第二移动体上并且通过所述两个轨道引导；以及

驱动所述第一驱动机构的马达；

其中所述第一驱动机构包括：

通过所述马达转动的进给螺杆；以及

固定于所述第一移动体并与所述进给螺杆螺合的螺母，其中所述进给螺杆设置在所述两个轨道之间，

所述粗微移动装置还包括：

第一弹簧，所述第一弹簧连接成作用于所述螺母上，并且在沿着所述进给螺杆的轴向的一个方向偏压所述螺母。

2.如权利要求1所述的粗微移动装置，还包括：

基部，所述两个轨道固定在所述基部上，所述基部包括所述两个轨道定位于其上的两个面朝外的基准面。

3.如权利要求1所述的粗微移动装置，其中所述连接件包括第二弹簧，并且所述第二弹簧具有比将所述螺母偏压的所述第一弹簧更强的偏压力。