[发明专利]磁盘用玻璃基板的表面加工方法和磁盘用玻璃基板有效
申请号: | 200880000030.5 | 申请日: | 2008-03-24 |
公开(公告)号: | CN101542606A | 公开(公告)日: | 2009-09-23 |
发明(设计)人: | 内山义夫;土井博史;石田元 | 申请(专利权)人: | 东洋钢钣株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84;G11B5/73;B24B9/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李 帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁盘 玻璃 表面 加工 方法 | ||
1.一种磁盘用玻璃基板的表面加工方法,其特征在于,
通过对圆环状磁盘用玻璃基板的内周部端面进行机械研磨,使其表 面粗糙度以Rmax表示为9nm以下,随后,对该内周部端面进行化学研 磨,将其表层研磨除去2μm以上、且不到5μm。
2.一种磁盘用玻璃基板的表面加工方法,其特征在于,
通过对圆环状磁盘用玻璃基板的内周部端面以及外周部端面进行 机械研磨,使其表面粗糙度以Rmax表示为9nm以下,随后,对该内周 部端面以及外周部端面进行化学研磨,将其表层研磨除去2μm以上、 且不到5μm。
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