[发明专利]磁盘用玻璃基板的表面加工方法和磁盘用玻璃基板有效

专利信息
申请号: 200880000030.5 申请日: 2008-03-24
公开(公告)号: CN101542606A 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 内山义夫;土井博史;石田元 申请(专利权)人: 东洋钢钣株式会社
主分类号: G11B5/84 分类号: G11B5/84;G11B5/73;B24B9/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 李 帆
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 磁盘 玻璃 表面 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种磁盘用玻璃基板的表面加工方法,其特征在于,

通过对圆环状磁盘用玻璃基板的内周部端面进行机械研磨,使其表 面粗糙度以Rmax表示为9nm以下,随后,对该内周部端面进行化学研 磨,将其表层研磨除去2μm以上、且不到5μm。

2.一种磁盘用玻璃基板的表面加工方法,其特征在于,

通过对圆环状磁盘用玻璃基板的内周部端面以及外周部端面进行 机械研磨,使其表面粗糙度以Rmax表示为9nm以下,随后,对该内周 部端面以及外周部端面进行化学研磨,将其表层研磨除去2μm以上、 且不到5μm。

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