[实用新型]300mm立式氧化炉净化冷却系统有效
| 申请号： | 200820234110.4 | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201382678Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 钟华;张豹;王喆;林松;赛义德·赛迪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/24 | 分类号： | F27B1/24;F27D17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 300 mm 立式 氧化 净化 冷却系统 | ||
【权利要求书】：
1、一种300mm立式氧化炉净化冷却系统，其特征在于：设有倒U字形气道，该气道由相互连通的圆筒形横向气道(1)和扁平形左、右侧气道(2、3)组成，在横向气道内设有循环风机(1.1)，该气道上还设有空气补给阀(1.2)和氮气进气管(1.3)；另外还设有微环境出气管(4)；在左侧气道的内侧设有热交换器(2.1)，在右侧气道的内侧设有化学过滤器(3.1)和超高效过滤器(3.2)以及静电离子消除器(3.3)，所述右侧气道和左侧气道通过两侧气道间的工艺空间(5)相互连通。
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