[实用新型]多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，特别是多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置。

背景技术

生产多晶硅的整个系统中，多晶硅氢还原炉是心脏设备。在生产过程中，在多晶硅氢还原炉中还原生成多晶硅是在一个较高的温度条件(1080℃)下反应进行的，进炉气体在进炉之前通过高效板式换热器与尾气换热，进入多晶硅氢还原炉后又被硅棒加热，其尾气温度很高(550℃—650℃)，导致出气管道温度相应增高(550—650℃)，因此需要对出气管进行冷却。

现在的工艺过程，一般是采用冷水对尾气进行冷却。冷却水套中存在有焊缝，一旦有水通过焊缝泄漏侵入到整个生产系统中，则会给系统带来极大危害，堵塞管道、影响水质、产量及质量降低，导致停产。

实用新型内容

本实用新型为解决上述问题，提供了一种多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置，可以在安全的前提下达到良好的冷却效果，并且可以使多晶硅氢还原炉运行稳定高效。

本实用新型的技术方案如下：

多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置，其特征在于：出气管外部设置有压缩空气来源装置和空气通风管道，压缩空气来源装置和空气通风管道固定连接，所述空气通风管道上设置有输出空气的出气孔。

所述压缩空气来源装置为高压风机，或者压缩空气站。

所述压缩空气来源装置的出口设置有调节空气流量的自动调节阀门，根据尾气管温度进行自动调节控制空气流量。

所述空气通风管道可以为空气盘管，也可以为与出气管平行的直管。

本实用新型的工作原理为：

当多晶硅氢还原炉的出气管被加热后需要被冷却时，首先打开压缩空气来源装置的自动调节阀门，温度为20℃左右、压力为0.8Mpa左右的空气通过空气盘管或直管送气，通过出气孔输出到出气管外部；由于空气温度大大低于出气管，因此与出气管换热带走热量，使出气管的温度冷却到40℃左右，从而达到了降温冷却目的。

空气采用压缩空气，每小时在100立方米左右，即使尾气有轻微的泄漏也可被空气稀释带走，进行置换，从而避免尾气管道在水冷却情况下泄漏渗入系统中，避免物料水解堵塞管道等。

本实用新型的有益效果如下：

该装置可以达到良好的冷却效果，可以使多晶硅氢还原炉运行十分稳定正常，安全高效；结构简单，操作方便安全。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图

具体实施方式

多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置，5为还原炉裙座，出气管1外部设置有压缩空气来源装置2和空气通风管道3，压缩空气来源装置2和空气通风管道3固定连接，所述空气通风管道3上设置有输出空气的出气孔4。

所述压缩空气来源装置2为高压风机，或者压缩空气站。

所述压缩空气来源装置2的出口设置有调节空气流量的自动调节阀门，根据尾气管温度进行自动调节控制空气流量。

所述空气通风管道3可以为空气盘管，也可以为与出气管平行的直管。

本实用新型的工作原理为：

当多晶硅氢还原炉的出气管被加热后需要被冷却时，首先打开压缩空气来源装置的自动调节阀门，温度为20℃左右、压力为0.8Mpa左右的空气通过空气盘管或直管送气，通过出气孔输出到出气管外部；由于空气温度大大低于出气管，因此与出气管换热带走热量，使出气管的温度冷却到40℃左右，从而达到了降温冷却目的。

空气采用为压缩空气，每小时在100立方米左右，即使尾气有轻微的泄漏也可被空气稀释带走，进行置换，从而避免尾气管道在水冷却情况下泄漏渗入系统中，避免物料水解堵塞管道等。