[实用新型]多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置有效
| 申请号： | 200820222844.0 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN201305656Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠;涂大勇 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 方 强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 气管 空气冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1、多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置，其特征在于：出气管(1)外部设置有压缩空气来源装置(2)和空气通风管道(3)，压缩空气来源装置(2)和空气通风管道(3)固定连接，所述空气通风管道(3)上设置有输出空气的出气孔(4)。
2、根据权利要求1所述多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置，其特征在于：所述压缩空气来源装置(1)为高压风机，或者压缩空气站。
3、根据权利要求1或2所述多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置，其特征在于：所述压缩空气来源装置(1)的出口设置有调节空气流量的自动调节阀门。
4、根据权利要求1所述多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置，其特征在于：所述空气通风管道(3)为空气盘管，或者是与出气管平行的直管。
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