[实用新型]一种喷淋头无效

申请号：	200820220261.4	申请日：	2008-12-03
公开（公告）号：	CN201292404Y	公开（公告）日：	2009-08-19
发明（设计）人：	孟凡荣;赵科新;郭东民;赵崇凌;王海涛;李重茂	申请（专利权）人：	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
主分类号：	C23C16/50	分类号：	C23C16/50
代理公司：	沈阳科苑专利商标代理有限公司	代理人：	周秀梅;许宗富
地址：	110168辽***	国省代码：	辽宁;21
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摘要：
搜索关键词：	一种喷淋
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【权利要求书】：

1、一种喷淋头，该喷淋头包括外屏蔽罩(1)、进气管(3)和法兰(7)，外屏蔽罩(1)安装在法兰(7)外部，进气管(3)与混气板组件(5)连接，混气板组件(5)与法兰(7)连接，混气板组件(5)与法兰(7)之间安装绝缘物质，其特征在于：进气管(3)的上端安装真空角阀(2)，进气管(3)与混气板组件(5)通过陶瓷管(4)连接，法兰(7)的下部安装匀气盒组件(10)，匀气盒组件(10)的两端与混气板组件(5)连接。

2、根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于：绝缘物质为绝缘陶瓷(6)和石英玻璃板(8)，绝缘陶瓷(6)位于混气板组件(5)的侧面，石英玻璃板(8)位于法兰(7)的底部。

3、根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于：匀气盒组件(10)下方平行设置进气板(11)，进气板(11)的两端与混气板组件(5)连接。

4、根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于：匀气盒组件(10)由两块平行放置的均气板组成。

5、根据权利要求4所述的喷淋头，其特征在于：在均气板上有孔，两块均气板上的孔均匀布置且孔位交错。

6、根据权利要求3所述的喷淋头，其特征在于：进气板(11)的上面具有孔。

7、根据权利要求6所述的喷淋头，其特征在于：进气板(11)的上面的孔成蜂窝状排列。

8、根据权利要求6或7所述的喷淋头，其特征在于：进气板(11)上的孔在面向工件的一侧上窄下宽。

9、根据权利要求8所述的喷淋头，其特征在于：进气板(11)上的孔为喇叭口形状或圆台状。

10、根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于：匀气盒组件(10)的外侧安装内屏蔽罩(9)。

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