[实用新型]涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及涂胶显影单元工作臂的改进技术，具体为一种用以在半导体晶片上进行涂胶、显影的各工作臂的可分控作业及可交叉作业结构。

背景技术

目前，众所周知的涂胶、显影单元主要由基座、离心机构、涂胶杯、工作臂、气动滑台、气动马达等构成。涂胶(显影)臂固定在气动滑台上，并利用气动滑台实现工作臂的上下动作。气动滑台固定在气动马达上，利用气动马达的转动完成涂胶、显影工艺过程。在涂胶单元中，当涂胶过程结束而涂胶臂没有退回原位时，不允许去边臂进行作业；同样在显影单元中，显影液的涂覆结束，而显影臂没有退回原位时，不允许定影臂进行作业。

目前，国内相关产品要完成涂胶、显影工艺过程，都需要以上复杂结构来完成，不仅成本较高，占用空间较大。而对于涂胶显影设备来讲，提高工作效率，提高产能才是目前市场需求的核心所在。

实用新型内容

为了克服上述的不足，本实用新型的目的在于提供一种涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，解决涂胶、显影单元中实现工作臂的上下动作结构复杂，工作效率低等问题。采用本实用新型可以缩短工艺单元的作业时间，为提高整体设备的产能打基础。

本实用新型的技术方案是：

一种涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，涂胶单元或显影单元的基座一侧安装支承板，两个电缸I、电缸II上下平行安装在支承板外侧，涂胶单元或显影单元的两个工作臂分别固定在基座支承板外侧的上下两个电缸I、电缸II上。

所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，各工作臂的一端固定有气动滑台，各工作臂与电缸通过连接板连接，连接板的一端固定在气动滑台上，连接板的另一端固定在电缸的滑块上。

所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，基座的底部配有排液、排气装置以及单元的离心机构。

所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，工作臂的上下驱动机构气动滑台上设有限位传感器。

所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，工作臂的水平移动机构电缸I、电缸II内设置限位传感器。

所述的涂胶显影单元工作臂的分控、交叉作业结构，电缸I、电缸II为电动执行器。

本实用新型的优点及有益效果是：

1、本实用新型的工作臂固定在电缸上，同一单元的两个工作臂可以分别或交叉动作，互不干涉，减少了单元工艺过程的使用时间，缩小了单元的占用空间，使得涂胶、显影单元结构更加紧凑，并为设备整体产能的提高奠定了基础。

2、本实用新型结构使涂胶、显影单元模块的作业更加平稳、快捷、灵活。在同一单元上，可以通过电缸驱动进行两个工作臂工艺过程的自动转换，即两臂的分控与交叉作业。

3、本实用新型的结构单元，体积小，结构紧凑、简单，不仅节省空间、便于装配，而且降低了成本，使涂胶、显影的工艺过程运行更加稳定；由此，单元的工作效率也得以提高。

4、本实用新型由电缸控制工作臂运作的新型单元结构，在涂胶(显影)单元中的两个工作臂涂胶臂、去边臂(或者显影臂、定影臂)，分别布置在各自单元基座支承板的上下两个电缸的滑块上。由于两臂的安装结构不存在运动干涉，利用电缸的作用可以进行独立、交叉的平行作业，既可利用两个电缸进行分控作业，也可进行平稳交叉作业。也就是说，在同一单元内实施对两个工作臂的分控及交叉作业控制。这一独特功能的实用性在显影单元上体现的由为明显，可以实现反复的显影、定影工艺过程。

附图说明

图1是本实用新型涂胶单元的三维结构示意图。

图2是本实用新型涂胶单元的主视图。

图3是本实用新型涂胶单元的俯视图。

图1-图3中，1基座；2溶剂清洗池；3去边臂；4晶片；5涂胶杯；6自动转换喷嘴机构；7涂胶臂；8支承板；9电缸I；10电缸II；11连接板I；12连接板II；13气动滑台I；14离心机构；15气动滑台II。

图4是本实用新型显影单元的三维结构示意图。

图5是本实用新型显影单元的主视图。

图6是本实用新型显影单元的俯视图。

图4-图6中，1′基座；2′溶剂清洗池；3′定影臂；4′晶片；5′显影杯；6′显影液清洗池；7′显影臂；8′支承板；9′电缸I；10′电缸II；11′连接板I；12′连接板II；13′气动滑台I；14′离心机构；15′气动滑台II。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作详细描述。